Elektrod grafit

Elektrod grafit Semicorex adalah komponen grafit yang dihasilkan, ketepatan yang dihasilkan untuk digunakan dalam aplikasi termal semikonduktor, di mana kekonduksian elektrik, kestabilan haba dan ketepatan dimensi adalah yang paling utama. Malah, jenis elektrod ini digunakan dalam relau suhu tinggi, reaktor epitaxy dan ruang pemprosesan haba, memudahkan pengaliran semasa yang stabil, pemindahan haba dan kestabilan di bawah keadaan agresif suhu dan atmosfera. Oleh kerana kesucian yang melampau, keseragaman struktur pepejal, dan sifat mekanik yang tinggi dari elektrod grafit Semicorex, mereka dapat memberikan prestasi terma yang boleh dipercayai sebagai unsur pemanasan dalam menuntut aplikasi semikonduktor

Eletrode grafit dihasilkan dari bahan grafit halus berkualiti tinggi, masing-masing dibuat menggunakan urutan penyemperitan, karbonisasi suhu tinggi dan grafitisasi. Struktur mikro grafit direka untuk kira -kira rintangan elektrik yang berterusan, kekonduksian terma yang tinggi dan kestabilan mekanikal. Produk akhir adalah konduktor haba yang tinggi yang mengekalkan keadaan fizikal dan pengagihan seragam arus dalam persekitaran kuasa tinggi serta turun naik suhu yang cepat.

Prestasi ultra di kamigrafit

Grafit kami menjamin keseragaman prestasi unggul. Pertama, semasa proses pengkanan, relau kami hanya mempunyai 115 meter padu. Pasukan teknikal kami memantau medan suhu produk grafit di kawasan yang berbeza di setiap relau. Pada peringkat suhu rendah awal (0-200 ° C), kita mengawal suhu dalam ± 10 ° C, dan pada suhu tinggi (di atas 600 ° C), dalam ± 1 ° C. Kami bukan sahaja memantau medan suhu antara zarah grafit yang berbeza, tetapi juga permukaan dan suhu dalaman setiap sekeping grafit individu, mengawalnya dalam ± 3 ° C. Kami memantau 8 mata suhu dalam setiap relau karbonisasi.

Kedua, semasa proses grafit, mengambil batch 500 kg sebagai contoh, kami juga memantau 8 mata suhu. Selepas grafitisasi, kami secara rawak sampel dan merosakkan menguji 24 mata di sepanjang paksi x, y, dan z untuk memastikan keseragaman. Kebanyakan syarikat dalam industri hanya menguji paksi-x, atau kebanyakan paksi XY, dengan pengeluar biasa menguji hanya 6-8 mata, dan yang lebih baik menguji 12 mata. Kami menguji 24 mata.

Dalam medan terma semikonduktor, elektrod grafit adalah bahagian kritikal dari perhimpunan pemanasan, mengarahkan arus elektrik ke dalam zon pemanasan dan membolehkan pengagihan suhu terkawal merentasi proses tertentu, seperti pengoksidaan, penyebaran, LPCVD, atau epitaxy. Elektrod grafit mesti memegang peranan operasi yang boleh dipercayai pada suhu melebihi 2000 ° C dan berbuat demikian semasa menentang pengoksidaan, melengkapkan atau mencemarkan tapak pemanasan.

Elektrod grafit Semicorex mempunyai kekonduksian elektrik yang luar biasa, yang memudahkan penghantaran kuasa yang berkesan dengan kerugian yang minimum, dan mereka mempunyai kekonduksian terma yang sangat baik, membenarkan pemindahan haba seragam yang cepat di dalam relau. Gabungan pengembangan haba yang rendah dan kekuatan mekanikal yang tinggi mengurangkan ubah bentuk dan retak semasa berbasikal haba, menghasilkan tingkah laku yang stabil dalam jangka hayat perkhidmatan yang panjang. Setiap elektrod dimesin ke toleransi dimensi yang ketat dan kemasan permukaan halus untuk memastikan hubungan yang konsisten dan rintangan elektrik yang tidak dapat dielakkan di permukaan sentuhan.

Dengan keperluan spesifik proses semikonduktor dalam fikiran, Semicorex boleh membuat reka bentuk elektrod tersuai untuk memenuhi sebarang konfigurasi relau dan spesifikasi kuasa. Diameter, panjang, jenis sambungan atau kemasan permukaan yang berbeza boleh disediakan. Apabila perlu, bahan salutan, seperti karbon SIC atau pyrolytic, boleh digunakan untuk menyokong rintangan pengoksidaan dan hayat perkhidmatan dalam persekitaran gas oksigen tinggi atau reaktif.

Kesucian tinggiBahan grafitberfungsi untuk memastikan tahap kekotoran logam yang sangat rendah (dan kekotoran gas), selalunya lebih daripada 99.999% karbon. Tahap kekotoran yang rendah itu membantu mengelakkan pencemar wafer semikonduktor semasa pemprosesan haba. Digabungkan dengan kedalaman pemesinan dan kemasan permukaan yang digilap, elektrod grafit Semicorex memenuhi kedua-dua kestabilan mekanikal dan kimia teknologi fabrikasi wafer yang canggih.

Sama ada digunakan dalam relau penyebaran, reaktor epitaxial, atau peralatan pemprosesan suhu tinggi, elektrod grafit Semicorex menyediakan prestasi yang tidak dapat ditandingi dalam persekitaran terma yang paling menuntut. Dengan menggabungkan kesucian yang tinggi, geometri yang tepat, dan pemprosesan bahan canggih, Semicorex menyampaikan penyelesaian elektrod yang memastikan pengaliran semasa yang stabil, pemanasan yang konsisten, dan kebolehpercayaan operasi jangka panjang yang penting untuk pembuatan semikonduktor generasi akan datang.