Tiub Panduan Dalam

Tiub Panduan Dalaman Semicorex adalah kejuruteraan ketepatankomponen karbon/karbon (C/C).direka untuk aplikasi medan terma suhu tinggi termaju, terutamanya dalam pertumbuhan kristal silikon ketulenan tinggi. Sebagai elemen kritikal dalam relau pertumbuhan kristal, komponen ini memainkan peranan penting dalam membentuk dan menstabilkan kecerunan haba, memastikan pembentukan kristal optimum dan kualiti bahan yang konsisten.

Dihasilkan daripada komposit karbon bertetulang gentian karbon berketumpatan tinggi, Inner Guide Tube menawarkan integriti struktur dan kestabilan terma yang luar biasa dalam keadaan yang melampau. Dengan ketumpatan ≥1.35 g/cm³ dan kekuatan lenturan ≥110 MPa, ia mengekalkan keteguhan mekanikal walaupun semasa pendedahan berpanjangan kepada suhu tinggi. Sifat-sifat ini penting dalam pengeluaran silikon gred semikonduktor, di mana turun naik kecil dalam keadaan terma boleh menjejaskan keseragaman kristal dan kadar kecacatan dengan ketara.

Kefungsian Teras: Kawalan Kecerunan Ketepatan

Peranan utama Tiub Panduan Dalam C/C adalah untuk membina medan suhu kecerunan yang tepat. Semasa proses pertumbuhan kristal silikon, ia diletakkan tepat di atas leburan untuk:

Aliran Gas Langsung: Ia membimbing aliran gas argon lengai, memastikan wap silikon oksida (SiO) disapu dengan cekap dari permukaan cair, menghalang pencemaran oksigen dalam kristal.

Perisai Terma: Ia melindungi kristal yang semakin meningkat daripada sinaran haba terus dari dinding pijar, mewujudkan kecerunan suhu paksi curam yang diperlukan untuk tarikan kristal berkelajuan tinggi dan berkualiti tinggi.

Kecekapan Tenaga: Dengan menumpukan haba dalam zon cair dan penebat komponen relau atas, ia mengurangkan jumlah penggunaan kuasa dengan ketara.

Spesifikasi Teknikal & Kecemerlangan Bahan

Tiub Panduan Dalaman kami dihasilkan menggunakan ketumpatan tinggiKomposit karbon/karbon, menyediakan alternatif unggul kepada grafit tradisional. Sifat bahan dioptimumkan untuk keadaan melampau relau vakum semikonduktor:

Ketumpatan: ≥ 1.35 g/cm³

Kekuatan Lentur: ≥ 110 MPa

Pekali Pengembangan Terma (CTE): ≤ 1.0 × 10⁻⁶ /K

Kekonduksian Terma (Suhu Bilik): ≤ 10 W/(m·K)

industri

Apabila industri bergerak ke arah saiz wafer yang lebih besar (300mm dan 450mm), permintaan terhadap medan haba meningkat secara eksponen. Tiub Panduan Dalaman kami serasi dengan jenama relau CZ utama dan boleh disesuaikan dari segi geometri dan salutan.