Rumah > Berita > Berita Industri

Mandi semikonduktor

2025-05-13

Theplat pengedaran gas, sering disebut sebagai "pancuran mandian," boleh menyerupai pancuran mandian konvensional, tetapi harganya dapat mencapai ratusan ribu, jauh lebih tinggi daripada mandi bilik mandi biasa.


Permukaan plat pengedaran gas mempunyai beratus -ratus atau bahkan beribu -ribu lubang kecil, tepat diatur, menyerupai rangkaian saraf tenunan halus. Reka bentuk ini membolehkan kawalan tepat aliran gas dan sudut suntikan, memastikan bahawa setiap bahagian kawasan pemprosesan wafer sama rata "dimandikan" dalam gas proses. Ini bukan sahaja meningkatkan kecekapan pengeluaran tetapi juga meningkatkan kualiti produk.


Plat pengedaran gas adalah penting untuk proses utama seperti pembersihan, etsa, dan pemendapan. Ia secara langsung mempengaruhi ketepatan proses semikonduktor dan kualiti produk akhir, menjadikannya komponen kritikal dalam pelbagai aplikasi pengedaran gas.

Semasa proses tindak balas wafer, permukaanShowerheadpadat ditutup dengan micropores (aperture 0.2-6 mm). Melalui struktur saluran dan laluan gas yang direka dengan tepat, gas proses khas perlu melalui beribu -ribu lubang kecil pada plat gas seragam dan kemudian disimpan secara merata di permukaan wafer. Lapisan filem di kawasan yang berbeza dari wafer perlu memastikan keseragaman dan konsistensi yang tinggi. Oleh itu, sebagai tambahan kepada keperluan yang sangat tinggi untuk kebersihan dan rintangan kakisan, plat pengedaran gas mempunyai keperluan yang ketat pada konsistensi aperture lubang kecil pada plat pengedaran gas dan burrs di dinding dalaman lubang kecil. Sekiranya toleransi saiz apertur dan sisihan piawai konsisten terlalu besar atau terdapat burrs di mana -mana dinding dalaman, ketebalan lapisan filem yang didepositkan akan berbeza, yang secara langsung akan menjejaskan hasil proses peralatan.


Bahan plat pengedaran gas kadang -kadang bahan rapuh (seperti silikon kristal tunggal, kaca kuarza, seramik), yang mudah dipecahkan di bawah tindakan daya luaran. Ia juga merupakan lubang yang sangat mendalam dalam 50 kali diameter micropore, dan keadaan pemotongan tidak dapat diperhatikan secara langsung. Di samping itu, haba pemotongan tidak mudah untuk dihantar dan penyingkiran cip sukar, dan bit gerudi mudah dipecahkan kerana penyumbatan cip. Oleh itu, pemprosesan dan penyediaannya sangat sukar.


Di samping itu, dalam proses yang dibantu plasma (seperti PECVD dan etsa kering), kepala pancuran, sebagai sebahagian daripada elektrod, juga perlu menghasilkan medan elektrik seragam melalui bekalan kuasa RF untuk menggalakkan pengedaran seragam plasma, dengan itu meningkatkan keseragaman etsa atau pemendapan.


Oleh kerana gas yang digunakan dalam proses pembuatan semikonduktor mungkin suhu tinggi, tekanan tinggi atau menghakis, pancuran mandi biasanya diperbuat daripada bahan tahan kakisan. Dalam pengeluaran sebenar, disebabkan oleh senario penggunaan yang berlainan dan ketepatan yang diperlukan sebenar, plat pengedaran gas boleh dibahagikan kepada dua kategori berikut mengikut komposisi materialnya:

(1) plat pengedaran gas logam

Bahan plat pengedaran gas logam termasuk aloi aluminium, keluli tahan karat dan logam nikel, di antaranya bahan pengedaran gas logam yang paling banyak digunakan adalah aloi aluminium, kerana ia mempunyai kekonduksian terma yang baik dan rintangan kakisan yang kuat. Ia tersedia secara meluas dan mudah diproses.

(2) plat pengedaran gas bukan logam

Bahan plat pengedaran gas bukan logam termasuk silikon kristal tunggal, kaca kuarza dan bahan seramik. Antaranya, bahan seramik yang biasa digunakan ialah CVD-SIC, seramik alumina, seramik silikon nitrida, dll.





Semicorex menawarkan berkualiti tinggiCVD sic showerheadsdalam industri semikonduktor. Sekiranya anda mempunyai pertanyaan atau memerlukan butiran tambahan, jangan ragu untuk berhubung dengan kami.


Hubungi Telefon # +86-13567891907

E -mel: sales@semicorex.com



X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept