Pengenalan Ringkas Kepada Wafer Dummy

Pembuatan semikonduktor lanjutan terdiri daripada beberapa langkah proses, termasuk pemendapan filem nipis, fotolitografi, etsa, implantasi ion, penggilap mekanikal kimia. Semasa proses ini, walaupun kelemahan kecil dalam proses itu mungkin mempunyai kesan buruk terhadap prestasi dan kebolehpercayaan cip semikonduktor akhir. Oleh itu, adalah satu cabaran yang besar untuk mengekalkan kestabilan dan ketekalan proses, serta menjalankan pemantauan peralatan yang cekap. Wafer tiruan ialah alat penting yang membantu menangani cabaran ini.

Wafer dummy ialah wafer yang tidak membawa litar sebenar dan tidak digunakan dalam proses pengeluaran cip akhir. Iniwaferboleh menjadi wafer ujian gred rendah yang serba baharu atau wafer tebus guna. Berbeza daripada wafer produk mahal yang digunakan untuk mengeluarkan litar bersepadu, ia biasanya digunakan untuk pelbagai bukan berkaitan pengeluaran yang penting untuk pengeluaran semikonduktor.

Aplikasi Wafer Dummy

1.Kelayakan & Penalaan Proses

Wafer tiruan biasanya digunakan untuk ujian sebelum situasi ini untuk memastikan kestabilan proses dan pematuhan prestasi peralatan, seperti sebelum pentauliahan peralatan proses baharu, selepas penyelenggaraan atau penggantian komponen peralatan sedia ada, dan semasa pembangunan resipi proses baharu. Pengesahan prestasi peralatan dan pelarasan tepat parameter proses boleh berjaya diselesaikan melalui menganalisis hasil pemprosesan pada wafer tiruan, yang secara berkesan mengurangkan kehilangan wafer produk dan mengurangkan  kos pengeluaran untuk perusahaan.

2.Penyamanan & Memanaskan Badan

Persekitaran ruang bagi banyak peralatan proses semikonduktor (cth., peralatan pemendapan wap kimia (CVD), peralatan pemendapan wap fizikal (PVD) dan mesin etsa) mempunyai kesan yang ketara ke atas hasil pemprosesan. Sebagai contoh, status salutan dan taburan suhu pada dinding dalaman ruang perlu mencapai keadaan yang stabil. Wafer tiruan sering digunakan untuk mengkondisikan ruang proses dan menstabilkan persekitaran dalaman (cth., suhu, atmosfera kimia dan status permukaan) ruang, yang berkesan menghalang penyelewengan atau kecacatan proses dalam kumpulan pertama wafer produk yang disebabkan oleh peralatan tidak beroperasi pada keadaan optimumnya.

3. Pemantauan Zarah & Kawalan Pencemaran

Pembuatan semikonduktor mempunyai keperluan kebersihan yang sangat tinggi; walaupun pencemaran zarah kecil boleh menyebabkan kegagalan cip. Melalui pemeriksaan zarah yang melekat pada permukaan wafer tiruan yang dimasukkan ke dalam peralatan, kebersihan peralatan boleh dinilai. Oleh itu, wafer produk boleh berjaya dilindungi daripada pencemaran dengan mengenal pasti dengan segera kemungkinan sumber pencemaran dan meletakkan prosedur pembersihan atau penyelenggaraan.

4. Pengisian Slot untuk Keseragaman Kelompok

Untuk mencapai aliran gas, pengagihan suhu, dan kepekatan bahan tindak balas dalam ruang proses, operasi beban penuh adalah amalan biasa dalam peralatan pemprosesan kelompok seperti relau resapan, relau pengoksidaan atau tangki pembersihan basah. Wafer dummy digunakan untuk mengisi slot kosong dalam bot wafer yang tidak mempunyai bilangan wafer produk yang mencukupi, yang boleh mengurangkan kesan tepi dan memastikan keadaan pemprosesan yang konsisten untuk semua wafer produk, terutamanya bagi yang terletak di tepi bot wafer.

5. Penstabilan Proses Penggilapan Mekanikal Kimia (CMP).

Wafer tiruan juga boleh digunakan dalam peringkat pra-rawatan proses CMP untuk mengekalkan kestabilan proses. Ujian pra-jalanan dengan wafer tiruan mengoptimumkan kekasaran dan keliangan pad penggilap, meminimumkan ketidakpastian proses semasa fasa penstabilan permulaan atau fasa peralihan sebelum penutupan, dan mengurangkan calar dan kecacatan wafer yang disebabkan oleh bekalan buburan yang tidak normal dan haus diafragma kepala.

Semicorex menawarkan kos efektifWafer tiruan SiC. Jika anda mempunyai sebarang pertanyaan atau memerlukan butiran tambahan, sila jangan teragak-agak untuk menghubungi kami.

Hubungi # telefon +86-13567891907

E-mel: sales@semicorex.com