Mengenai kecacatan pada kristal SiC - Micropipe

Substrat SiC boleh mempunyai kecacatan mikroskopik, seperti Dislokasi Skru Benang (TSD), Dislokasi Tepi Benang (TED), Dislokasi Satah Asas (BPD) dan lain-lain. Kecacatan ini disebabkan oleh penyelewengan dalam susunan atom pada peringkat atom. Hablur SiC juga mungkin mempunyai kehelan makroskopik, seperti kemasukan Si atau C, paip mikro, lompang heksagon, polimorf, dll. Kehelan ini biasanya bersaiz besar.

Salah satu isu utama dalam pembuatan peranti SiC ialah struktur mikro tiga dimensi yang dikenali sebagai "micropipe" atau "pinholes", yang biasanya bersaiz 30-40um dan 0.1-5um masing-masing. Paip mikro ini mempunyai ketumpatan 10-10³/cm² dan boleh menembusi lapisan epitaxial, mengakibatkan kecacatan pembunuh peranti. Mereka terutamanya disebabkan oleh pengelompokan kehelan spiro dan dianggap sebagai halangan utama dalam pembangunan peranti SiC.

Kecacatan mikrotubul pada substrat adalah punca kecacatan lain yang terbentuk dalam lapisan epitaxial semasa proses pertumbuhan, seperti lompang, kemasukan pelbagai polimorf, kembar, dan lain-lain. Oleh itu, perkara yang paling penting untuk dilakukan semasa proses pertumbuhan bahan substrat untuk peranti SiC voltan tinggi dan berkuasa tinggi adalah untuk mengurangkan pembentukan kecacatan mikrotubulu dalam kristal SiC pukal dan untuk menghalangnya daripada memasuki lapisan epitaxial.

Paip mikro boleh dilihat sebagai lubang kecil, dan dengan mengoptimumkan keadaan proses kita boleh "mengisi lubang" untuk mengurangkan ketumpatan paip mikro. Beberapa kajian dalam literatur dan data eksperimen telah menunjukkan bahawa epitaksi sejatan, pertumbuhan CVD, dan epitaksi fasa cecair boleh mengisi mikropaip dan mengurangkan pembentukan mikropaip dan kehelan.

Semicorex menggunakan teknik MOCVD untuk mencipta salutan SiC yang mengurangkan ketumpatan mikropaip secara berkesan, menghasilkan produk berkualiti tinggi. Jika anda mempunyai sebarang pertanyaan atau memerlukan butiran tambahan, sila jangan teragak-agak untuk menghubungi kami.

Hubungi # telefon +86-13567891907

E-mel: sales@semicorex.com