Apakah dayung julur?

Semasa pemprosesan wafer semikonduktor, relau khusus digunakan untuk memanaskan wafer. Relau ini mengandungi tiub silinder memanjang di mana wafer diletakkan pada bot wafer pada kedudukan yang telah ditetapkan dan sama jarak. Untuk memastikan peralatan pemprosesan tidak membazir wafer dan untuk menahan keadaan pemprosesan dalam ruang, bot wafer dan peranti lain yang digunakan dalam pemprosesan wafer dibuat daripada bahan seperti silikon karbida (SiC).

Bot wafer, dimuatkan dengan kumpulan wafer untuk diproses, diletakkan di atas dayung cantilever yang panjang. Dayung ini boleh dimasukkan ke dalam dan ditarik balik dari relau dan reaktor tiub. Dayung terdiri daripada bahagian pengangkut yang diratakan yang boleh memuatkan satu atau lebih bot dan pemegang panjang terletak pada satu hujung bahagian pengangkut yang diratakan untuk pengendalian yang mudah.

Untuk komponen terbaik dalam pemprosesan semikonduktor, adalah disyorkan untuk menggunakan dayung julur yang diperbuat daripada silikon karbida terhablur semula dengan lapisan nipis CVD SiC. Bahan ini mempunyai ketulenan yang tinggi dan merupakan pilihan terbaik untuk komponen tersebut.

Semicorex menghasilkan dayung julur tersuai dengan salutan SiC CVD berkualiti tinggi. Jika anda mempunyai sebarang pertanyaan atau memerlukan butiran tambahan, sila jangan teragak-agak untuk menghubungi kami.

Hubungi # telefon +86-13567891907

E-mel: sales@semicorex.com