Apakah suseptor grafit bersalut SiC?

Dulang (tapak) yang menyokong wafer SiC, juga dikenali sebagai "pengusaha," ialah komponen teras peralatan pembuatan semikonduktor. Dan apakah sebenarnya susceptor ini yang membawa wafer?

Dalam proses pembuatan wafer, substrat perlu dibina lagi dengan lapisan epitaxial untuk fabrikasi peranti. Contoh biasa termasukPemancar LED, yang memerlukan lapisan epitaxial GaAs di atas substrat silikon; pada substrat SiC konduktif, lapisan epitaxial SiC ditanam untuk peranti seperti SBD dan MOSFET, digunakan dalam aplikasi voltan tinggi dan arus tinggi; padasubstrat SiC separa penebat, lapisan epitaxial GaN dibina untuk membina peranti seperti HEMT, digunakan dalam aplikasi RF seperti komunikasi. Proses ini sangat bergantung pada peralatan CVD.

Dalam peralatan CVD, substrat tidak boleh terus diletakkan pada logam atau tapak mudah untuk pemendapan epitaxial, kerana ia melibatkan pelbagai faktor yang mempengaruhi seperti arah aliran gas (mendatar, menegak), suhu, tekanan, kestabilan, dan penyingkiran bahan cemar. Oleh itu, asas diperlukan di mana substrat diletakkan sebelum menggunakan teknologi CVD untuk mendepositkan lapisan epitaxial pada substrat. Pangkalan ini dikenali sebagai aPenerima grafit bersalut SiC(juga dipanggil pangkalan/dulang/pembawa).

Suseptor grafit bersalut SiC biasanya digunakan dalam peralatan pemendapan wap kimia metalorganik (MOCVD) untuk menyokong dan memanaskan substrat kristal tunggal. Kestabilan terma dan keseragaman suseptor grafit bersalut SiC memainkan peranan penting dalam menentukan kualiti pertumbuhan bahan epitaxial, menjadikannya komponen kritikal peralatan MOCVD.

Teknologi MOCVD kini merupakan teknik arus perdana untuk mengembangkan epitaksi filem nipis GaN dalam pengeluaran LED biru. Ia menawarkan kelebihan seperti operasi mudah, kadar pertumbuhan terkawal dan ketulenan tinggi filem nipis GaN yang dihasilkan. Suseptor yang digunakan untuk pertumbuhan epitaxial filem nipis GaN, sebagai komponen penting di dalam kebuk tindak balas peralatan MOCVD, perlu mempunyai rintangan suhu tinggi, kekonduksian terma seragam, kestabilan kimia yang baik, dan rintangan kuat terhadap kejutan haba. Bahan grafit boleh memenuhi keperluan ini.

Suseptor grafit adalah salah satu komponen teras dalam peralatan MOCVD dan berfungsi sebagai pembawa dan pemancar haba untuk wafer substrat, secara langsung mempengaruhi keseragaman dan ketulenan bahan filem nipis. Akibatnya, kualitinya secara langsung mempengaruhi penyediaan Epi-Wafer. Walau bagaimanapun, semasa pengeluaran, grafit boleh menghakis dan merosot kerana kehadiran gas menghakis dan sebatian metalorganik sisa, dengan ketara mengurangkan jangka hayat suseptor grafit. Selain itu, serbuk grafit yang jatuh boleh menyebabkan pencemaran pada cip.

Kemunculan teknologi salutan menyediakan penyelesaian kepada masalah ini dengan menyediakan penetapan serbuk permukaan, kekonduksian terma yang dipertingkatkan, dan pengagihan haba yang seimbang. Salutan pada permukaan suseptor grafit yang digunakan dalam persekitaran peralatan MOCVD harus mempunyai ciri-ciri berikut:

1. Keupayaan untuk menutup sepenuhnya asas grafit dengan ketumpatan yang baik, kerana suseptor grafit mudah terdedah kepada kakisan dalam persekitaran gas yang menghakis.

2. Ikatan yang kuat dengan susceptor grafit untuk memastikan salutan tidak mudah tertanggal selepas beberapa kitaran suhu tinggi dan suhu rendah.

3. Kestabilan kimia yang sangat baik untuk mengelakkan salutan daripada menjadi tidak berkesan dalam suasana suhu tinggi dan menghakis. SiC mempunyai kelebihan seperti rintangan kakisan, kekonduksian haba yang tinggi, rintangan kepada kejutan haba, dan kestabilan kimia yang tinggi, menjadikannya sesuai untuk bekerja dalam atmosfera epitaxial GaN. Tambahan pula, pekali pengembangan haba SiC adalah sangat hampir dengan grafit, menjadikannya bahan pilihan untuk menyalut permukaan suseptor grafit.

Semicorex membuat susceptor grafit bersalut CVD SiC, menghasilkan bahagian SiC yang disesuaikan, seperti bot wafer, dayung julur, tiub, dll. Jika anda mempunyai sebarang pertanyaan atau memerlukan butiran tambahan, sila jangan teragak-agak untuk menghubungi kami.

Hubungi # telefon +86-13567891907

E-mel: sales@semicorex.com