Salutan TaC dengan kaedah CVD

Salutan karbida tantalum ialah bahan struktur suhu tinggi berkekuatan tinggi, tahan kakisan dan stabil kimia yang penting dengan takat lebur sehingga 4273 °C, salah satu daripada beberapa sebatian dengan rintangan suhu tertinggi. Ia mempunyai ciri-ciri mekanikal suhu tinggi yang sangat baik, rintangan kepada penyedutan aliran udara berkelajuan tinggi, rintangan ablasi, dan keserasian kimia dan mekanikal yang baik dengan komposit grafit dan karbon/karbon. Oleh itu, dalam proses epitaxial LED GaN dan peranti kuasa SiC seperti MOCVD, salutan TaC mempunyai rintangan asid dan alkali yang sangat baik kepada H2, HCl, NH3, yang boleh melindungi sepenuhnya bahan substrat grafit dan membersihkan persekitaran pertumbuhan.

Salutan TaC kekal stabil pada suhu melebihi 2000 °C, manakala salutan SiC mula terurai pada 1200-1400 °C, yang juga akan meningkatkan integriti substrat grafit. Salutan karbida Tantalum kini disediakan pada substrat grafit terutamanya oleh CVD, dan kapasiti pengeluaran salutan TaC akan dipertingkatkan lagi untuk memenuhi permintaan untuk peranti kuasa SiC dan peranti epitaxial GaNLEDs.

Sistem tindak balas kimia yang digunakan untuk memendapkan salutan tantalum karbida pada bahan karbon secara pemendapan wap kimia (CVD) ialah TaCl5, C3H6, H2 dan Ar, di mana Ar digunakan sebagai pencairan dan pembawa gas.

Salutan karbida Tantalum memainkan peranan penting dalam proses epitaxial LED GaN dan peranti kuasa SiC menggunakan MOCVD. Bahan termaju melindungi komponen penting, memastikan jangka hayat dan prestasinya dalam keadaan teruk yang berkaitan dengan pembuatan semikonduktor suhu tinggi.

Memandangkan permintaan untuk peranti kuasa SiC dan LED GaN terus meningkat, kapasiti pengeluaran salutan tantalum karbida ditetapkan untuk berkembang. Pengilang bersedia untuk memenuhi keperluan industri yang semakin meningkat, memudahkan evolusi teknologi suhu tinggi.

Kesimpulannya,salutan tantalum karbidamewakili lonjakan teknologi yang luar biasa dalam memastikan ketahanan dan kebolehpercayaan bahan dalam persekitaran suhu tinggi. Sambil mereka terus merevolusikan sektor semikonduktor dan elektronik kuasa, salutan ini menggariskan status mereka sebagai elemen kritikal kemajuan teknologi tinggi moden.