Apa itu SOI

Silicon-on-insulator (SOI) diiktiraf sebagai salah satu penyelesaian untuk menggantikan bahan silikon monohabluran sedia ada dalam era nanoteknologi dan merupakan alat utama untuk mengekalkan trend Undang-undang Moore. Silicon-on-insulator, teknologi substrat yang menggantikan silikon substrat pukal tradisional dengan substrat "kejuruteraan", telah digunakan selama lebih daripada 30 tahun dalam aplikasi khusus seperti sistem elektronik ketenteraan dan angkasa, di mana SOI mempunyai kelebihan unik kerana kecemerlangannya. rintangan sinaran dan ciri-ciri kelajuan tinggi.

Bahan SOI adalah asas untuk pembangunan teknologi SOI, dan pembangunan teknologi SOI bergantung pada kemajuan berterusan bahan SOI. Kekurangan bahan SOI berkos rendah dan berkualiti tinggi telah menjadi kekangan utama bagi teknologi SOI untuk memasuki pengeluaran perindustrian berskala besar. Dalam beberapa tahun kebelakangan ini, dengan kematangan teknologi penyediaan bahan SOI, masalah material yang menyekat pembangunan teknologi SOI secara beransur-ansur diselesaikan, yang akhirnya merangkumi dua jenis teknologi penyediaan bahan SOI, iaitu, Speration-by-oxygen implantation (SIMOX) dan teknologi ikatan. Teknologi ikatan termasuk teknologi Bond and Etch back (BESOI) tradisional dan teknologi Smart-cut yang menggabungkan suntikan ion hidrogen dan ikatan yang dicadangkan oleh M. Bruel, salah seorang pengasas SOITEC di Perancis, serta gabungan penyediaan bahan Simbond SOI. pengasingan oksigen dan ikatan yang dicadangkan oleh Dr. Meng Chen pada tahun 2005. Teknologi baharu ini menggabungkan pengasingan suntikan oksigen dan ikatan.