Mengetahui Dayung Cantilever

Semasa pemprosesan, wafer semikonduktor biasanya mesti dipanaskan dalam relau khusus. Relau sedemikian biasanya terdiri daripada tiub silinder yang panjang, nipis. Wafer diletakkan di dalam relau dan reaktor sedemikian rupa sehingga ia disusun di sepanjang satah yang ditakrifkan oleh keratan rentas bulat relau atau reaktor dan dijarakkan pada titik yang telah ditetapkan, biasanya sama jarak, sepanjang paksi pusat relau atau reaktor. Untuk mencapai kedudukan ini, wafer biasanya diletakkan pada pemegang berslot, dipanggil bot wafer, yang meletakkan wafer dalam konfigurasi jarak sejajar sepanjang paksi tengah.

Bot-bot kecil yang mengandungi kumpulan wafer untuk diproses diletakkan di atas dayung julur panjang yang melaluinya relau dan reaktor tiub boleh dimasukkan dan ditarik balik. Dayung sedemikian biasanya termasuk bahagian pengangkut rata di mana satu atau lebih bot kecil boleh diletakkan, dan pemegang panjang, terletak pada satu hujung bahagian pengangkut rata, yang mana dayung boleh dikendalikan. Bahagian peralihan biasanya dibentuk antara pemegang dan bahagian pembawa untuk menjadikannya keseluruhan. Juga, pemegang mesti keluar dari relau atau reaktor supaya ia dan bot wafer boleh dimanipulasi.

Kedudukan kapal wafer di dalam relau atau reaktor adalah penting kerana adalah wajar untuk meletakkan pusat setiap wafer sedekat mungkin dengan paksi tengah relau atau reaktor untuk mencapai keadaan pemprosesan yang seragam di mana wafer tertakluk. Oleh itu, lenturan dayung yang disebabkan oleh berat kapal yang membawa wafer mesti dipertimbangkan dalam reka bentuk dayung, terutamanya kerana dayung disokong pada satu hujung sahaja, iaitu hujung yang menonjol dari ruang relau. Di samping mempertimbangkan reka bentuk dayung yang terhasil daripada keperluan berat operasi, satu set pengapit yang direka untuk memegang hujung dayung yang dipanjangkan dengan tepat pada kedudukannya juga mesti digunakan. Pengapit ini mestilah agak teguh untuk memastikan dayung dalam kedudukan yang diingini dengan tepat sambil mudah digunakan dan meminimumkan kemungkinan kerosakan pada dayung semasa pengapit.

Oleh itu, dayung julur diperlukan yang boleh digunakan dengan beban yang lebih berat sambil kekal serasi dengan sistem pengapit sedia ada. Terdapat juga keperluan untuk dayung julur yang mempamerkan ciri pesongan yang boleh diterima ke atas keseluruhan julat beban berat yang boleh digunakan dengannya.

cdayung antilever disyorkan untuk menggunakan silikon karbida terhablur semula dengan lapisan nipis CVD SiC, yang merupakan ketulenan tinggi dan pilihan terbaik untuk komponen dalam pemprosesan semikonduktor.

Semicorex boleh sediakankualiti tinggidayung julurdanperkhidmatan tersuai mengikut lukisan dan persekitaran kerja.