Proses Penyepuhlindapan dalam Pembuatan Semikonduktor Moden

Apabila nod teknologi terus mengecut, pembentukan simpang ultra cetek memberikan cabaran yang ketara. Proses penyepuhlindapan terma termasukPenyepuhlindapan haba pantas (RTA)dan penyepuhlindapan lampu kilat (FLA) ialah teknik penting yang mengekalkan kadar pengaktifan kekotoran yang tinggi sambil meminimumkan resapan, memastikan prestasi peranti yang optimum.

1. Pembentukan Persimpangan Ultra-Cetek:

Apabila nod teknologi mengecut, membentuk persimpangan ultra cetek semakin mencabar. Teknik seperti penyepuhlindapan haba pantas (RTA) dan penyepuhlindapan lampu kilat (FLA) adalah penting untuk mencapai kadar pengaktifan kekotoran yang tinggi sambil meminimumkan resapan, dengan itu memastikan prestasi peranti yang optimum.

2. Pengubahsuaian Dielektrik Gerbang Tinggi-k:

Penyepuhlindapan pasca pemendapan (PDA) dengan ketara meningkatkan sifat elektrik dielektrik get k tinggi. Proses ini mengurangkan arus kebocoran pintu dan meningkatkan pemalar dielektrik, yang penting untuk peranti logik dan memori termaju.

3. Pembentukan Silisid Logam:

Pengoptimuman silisid logam, seperti CoSi dan NiSi, adalah penting untuk meningkatkan rintangan sentuhan dan pukal. Kawalan tepat ke atas keadaan penyepuhlindapan memudahkan penciptaan fasa aloi yang ideal, meningkatkan kecekapan peranti secara keseluruhan.

4. Teknologi Integrasi 3D:

Dalam teknologi seperti 3D NAND dan 3D DRAM, proses penyepuhlindapan mesti digunakan merentas berbilang lapisan. Teknik terma pantas memainkan peranan penting dalam memastikan setiap lapisan mencapai prestasi optimum.

Penyepuhlindapan adalah kritikal dalam pembuatan semikonduktor, membolehkan pembaikan kerosakan kekisi, pengaktifan kekotoran, pengubahsuaian filem, dan pembentukan silisid logam melalui kawalan suhu, masa dan belanjawan haba yang tepat. Apabila nod teknologi mengecut, kaedah penyepuhlindapan lanjutan sepertiRTA, FLA dan penyepuhlindapan pancang laser telah menjadi arus perdana. Memandang ke hadapan, proses penyepuhlindapan akan terus berinovasi untuk memenuhi permintaan bahan dan peranti baru muncul.

Semicorex menawarkan peneraju industripenyelesaian penyepuhlindapan, memastikan peranti semikonduktor anda memenuhi piawaian prestasi tertinggi dengan ketepatan dan kebolehpercayaan.

Jika anda mempunyai sebarang pertanyaan atau memerlukan butiran tambahan, sila jangan teragak-agak untuk menghubungi kami.

Hubungi # telefon +86-13567891907

E-mel: sales@semicorex.com