Struktur Chuck Elektrostatik (ESC)

AnChuck Elektrostatik (ESC)ialah peranti yang digunakan untuk memegang wafer semikonduktor pada tempatnya semasa proses seperti etsa, pemendapan, atau penggilap. Ia beroperasi dengan menjana medan elektrostatik untuk menarik dan memegang wafer dengan selamat pada permukaan chuck, memberikan kestabilan dan penjajaran yang tepat semasa pengendalian wafer. ESC digunakan secara meluas dalam pembuatan semikonduktor untuk meningkatkan ketepatan proses dan kecekapan pengendalian wafer.

Imej sebenar konvensionalchuck elektrostatik (ESC)digambarkan dalam rajah. Perbezaan utama antara model terletak pada bahan lapisan penebat pada permukaan chuck elektrostatik. Dalam rajah, warna gelap mewakili aluminium nitrida, manakala warna putih mewakili aluminium oksida. Struktur yangchuck elektrostatikterdiri daripada beberapa bahagian:

1. **Lapisan Penebat**: Lapisan ini bersentuhan dengan wafer, biasanya diperbuat daripada aluminium nitrida atau seramik aluminium oksida kerana kekuatan mekanikal yang sangat baik, rintangan suhu tinggi dan kekonduksian terma yang baik.

2. **Pin Ejector dan Lubang Gas Dia**: Pin ejector direka untuk memindahkan wafer. Apabila wafer memasuki ruang etsa, pin ejector naik untuk menyokongnya, dan kemudian ia turun untuk meletakkan wafer ke permukaan chuck elektrostatik. Pin ejektor biasanya mempunyai struktur berongga, membolehkan gas helium diperkenalkan untuk membantu menyejukkan wafer.

3. **Back He Flow Channel**: Komponen ini meningkatkan pelesapan haba dan memudahkan penjerapan wafer.

4. **Elektrod Elektrostatik**: Elektrod ini menghasilkan medan elektrik yang menghasilkan daya elektrostatik yang diperlukan untuk menahan wafer di tempatnya. Biasanya, elektrod adalah satah dan sama ada tertanam di dalam atau didepositkan pada bahan penebat. Bahan konduktif yang biasa digunakan termasuk aluminium, tembaga, dan tungsten.

5. **Air Penyejuk Beredar dan Elektrod Pemanasan**: Elemen ini bertanggungjawab terutamanya untuk kawalan suhu keseluruhan chuck elektrostatik. Elektrod pemanas dan air penyejuk yang beredar berfungsi seiring untuk mengekalkan suhu yang stabil untuk wafer. Bergantung semata-mata pada air penyejuk yang beredar boleh menyebabkan ketidakupayaan untuk menguruskan haba yang dijana semasa proses etsa, yang berpotensi menjejaskan kestabilan proses.  

Semicorex menawarkan kualiti tinggiChuck Elektrostatik (ESC). Jika anda mempunyai sebarang pertanyaan atau memerlukan butiran tambahan, sila jangan teragak-agak untuk menghubungi kami.

Hubungi # telefon +86-13567891907

E-mel: sales@semicorex.com