Perbezaan struktur antara pelbagai jenis reaktor

Berdasarkan konfigurasi ruang tindak balas, peralatan rawatan haba (peralatan tiub relau) terutamanya dibahagikan kepada tiga kategori: tiub relau menegak, tiub relau mendatar, dan relau pemprosesan terma pesat (RTP).

Tiub relau menegak mempunyai tiub kuarza yang disusun secara menegak, dengan wafer diletakkan di sekeliling tiub untuk pemanasan. Kelebihan utama mereka ialah pengedaran suhu seragam, kawalan atmosfera yang tepat, automasi tinggi, pencemaran zarah yang kurang, jejak kecil, dan sokongan untuk pemprosesan kelompok (terutamanya sesuai untuk wafer 12 inci), menjadikannya peralatan arus perdana yang tersedia pada masa ini. Saiz pasaran global mencecah $3.2 bilion pada 2024 (data SEMI). Kelemahan mereka termasuk pemisahan gas-cecair yang mudah, dan aliran ke bawah medium berpotensi menyebabkan tiub relau terbakar.

Tiub relau mendatar mempunyai tiub kuarza yang diletakkan secara mendatar, memproses 100-200 wafer pada satu masa. Kelebihan mereka termasuk aliran gas-cecair seragam dalam tiub relau dan kawalan suhu yang lebih tepat. Kelemahan mereka termasuk jejak yang lebih besar dan penggunaan sokongan tiub perantara keluli aloi tinggi yang lebih tinggi. Secara struktur, tiub relau mendatar meletakkan wafer secara menegak dalam tiub mendatar untuk diproses.

Relau penyepuhlindapan terma pantas (RTP) menggunakan lampu inframerah halogen untuk memanaskan wafer tunggal dengan pantas, menawarkan kadar pemanasan dan penyejukan pantas yang mengubah hanya suhu wafer tanpa mengubah suhu ruang. Ia sesuai untuk penyepuhlindapan cepat kumpulan kecil tetapi bukan untuk pengeluaran besar-besaran.

Dalam pemprosesan wafer, tiub relau mendatar meletakkan wafer pada bot kuarza, yang seterusnya terletak pada bingkai sokongan silikon karbida (SiC). Rangka sokongan kemudiannya ditolak ke dalam tiub relau kuarza, di mana wafer mengalami tindak balas dalam zon suhu malar. Tiub relau menegak, sebaliknya, letakkan wafer pada menara kuarza dan perlahan-lahan naikkan ke dalam tiub relau kuarza untuk diproses. Selepas tindak balas, wafer diturunkan perlahan-lahan untuk mengelakkan lenturan atau pecah.

Semicorex membekalkan tersuai berkualiti tinggireaktor relau kuarza. Produk kami direka bentuk untuk memberikan kestabilan terma yang unggul, hayat perkhidmatan yang dilanjutkan dan konsistensi proses yang luar biasa. Untuk penyelesaian tersuai atau maklumat teknikal tambahan, sila hubungi pasukan kejuruteraan kami.

Telefon: +86-13567891907

E-mel: sales@semicorex.com