Apabila nod teknologi terus mengecut, pembentukan simpang ultra cetek memberikan cabaran yang ketara. Proses penyepuhlindapan terma termasuk Penyepuhlindapan terma Rapid (RTA) dan penyepuhlindapan lampu kilat (FLA) adalah teknik penting yang mengekalkan kadar pengaktifan kekotoran yang tinggi sambil......
Baca LagiDalam pembuatan semikonduktor, ketepatan dan kestabilan proses goresan adalah yang terpenting. Satu faktor kritikal dalam mencapai etsa berkualiti tinggi ialah memastikan wafer rata di atas dulang semasa proses. Sebarang sisihan boleh menyebabkan pengeboman ion tidak sekata, menyebabkan sudut yang t......
Baca Lagi