Bot Grafit Suria PECVD

SemicorexBot grafit solar PECVDadalah ketepatan dibuat daripada ketulenan tinggigrafit isostatik. Setiap bot grafit solar PECVD dari Semicorex menjalani pemesinan yang tepat, pemeriksaan dimensi dan ujian prestasi elektrik untuk memastikan prestasi yang stabil dalam persekitaran plasma suhu tinggi.

Semasa pemprosesan PECVD, bot grafit solar PECVD membawa wafer silikon ke dalam ruang tindak balas PECVD dan berfungsi sebagai elektrod yang disambungkan kepada bekalan kuasa RF. Apabila voltan berselang-seli dikenakan antara plat bot bersebelahan, medan elektrik diwujudkan. Di bawah pengaruh medan elektrik, gas reaktif (seperti silane SiH₄ dan ammonia NH₃) mengalami nyahcas cahaya dan menjana plasma. Ion dan radikal bebas dalam plasma menguraikan gas prekursor, membentuk ion silikon (Si) dan nitrogen (N). Ion-ion ini bergabung untuk membentuk molekul silikon nitrida (Si₃N₄), yang kemudiannya dimendapkan pada permukaan wafer silikon untuk membentuk filem nipis.

1. Kestabilan haba yang luar biasa

Dengan pekali pengembangan haba yang hampir dengan wafer silikon, SemicorxBot grafit solar PECVDmengalami perubahan dimensi yang boleh diabaikan semasa pemanasan, yang pasti mengelakkan kerosakan akibat tekanan haba pada wafer.

2. Kekonduksian elektrik dan haba yang unggul

Bot grafit solar Semicorex PECVD mempunyai kekonduksian elektrik yang sangat baik, memastikan pengaliran pantas arus RF dan pengagihan medan elektrik seragam, yang bermanfaat untuk penjanaan plasma yang stabil dan pemendapan wafer silikon seragam. Selain itu, kekonduksian terma yang unggul memudahkan penyejukan dan pemanasan pantas, meningkatkan kecekapan pengeluaran sambil menghalang pemanasan lampau setempat daripada menjejaskan kualiti pemendapan.

3. Kestabilan kimia yang kuat

Terima kasih kepada penggunaan bahan gred premium, bot grafit solar Semicorex PECVD kurang terdedah kepada tindak balas dengan gas reaktif dan plasma. Ciri ini dengan ketara menghalang pengagihan medan elektrik yang tidak sekata yang disebabkan oleh kakisan, ubah bentuk, atau pemendapan kekotoran dalam bot grafit, dengan itu memastikan kestabilan proses pemendapan dan kualiti permukaan wafer silikon.

4. Kekuatan mekanikal yang luar biasa

Dengan kekuatan mekanikalnya yang luar biasa, bot grafit solar Semicorex PECVD boleh mengendalikan berat beban wafer volum tinggi dengan mudah. Mereka boleh menahan tekanan mekanikal yang dijana semasa pemuatan dan pengangkutan untuk masa yang lama tanpa mudah berubah bentuk atau pecah.

5. ketekalan dimensi yang sangat baik

Bot grafit solar Semicorex PECVD mencapai ketepatan dimensi yang luar biasa merentas semua komponen melalui pemesinan ketepatan. Ia mengekalkan wafer silikon dalam kedudukan tetap semasa pemendapan, yang memastikan pemendapan seragam dan keserasian dengan pengeluaran automatik.