Pembawa wafer PFA

Semicorex PFAPembawa waferadalah pembawa berprestasi tinggi yang direka untuk pengendalian, penyimpanan, dan pengangkutan wafer semikonduktor yang selamat dalam persekitaran yang sangat bersih. Pembuatan semikonduktor canggih memastikan bahawa pembawa wafer PFA menawarkan rintangan kimia yang tidak dapat ditandingi, kestabilan haba, dan kawalan zarah dari integriti dan kebersihan wafer semasa fabrikasi hingga ke ujian akhir.

Dibuat dari PFA baru, pembawa wafer ini menunjukkan rintangan yang besar terhadap bahan kimia yang keras seperti asid kuat, pangkalan, dan pelarut yang biasanya digunakan dalam pembersihan dan etsa wafer. Ciri -ciri pelepasan ion yang sangat rendah PFA menjadikannya bahan pilihan untuk tugas -tugas bersih yang penting, di mana jumlah pencemar yang kecil boleh menjejaskan hasil peranti.

Pembawa wafer PFA dibuat di bilik yang bersih dan bekerja dengan standard bilik bersih Kelas 1 (ISO 3). Permukaan lancar, tidak melekat PFA meminimumkan penjanaan zarah dan lekatan, mencegah pencemaran dari sisa atau zarah. Di samping itu, sifat hidrofobik PFA memudahkan pembilasan menyeluruh dan pengeringan cepat, seterusnya mengurangkan risiko pencemaran silang semasa langkah-langkah pemprosesan basah.

Setiap pembawa wafer PFA tepat dibuat untuk memastikan selamat dan juga sokongan wafer semasa bergerak dan menjaga. Slot grooved membantu wafer dengan sedikit sentuhan, mengurangkan tekanan dan memotong di tepi wafer. Pembawa datang dalam pelbagai bentuk untuk memenuhi pelbagai saiz wafer yang termasuk 100 mm, 150 mm, 200 mm, dan diameter 300 mm. Tops pilihan dan cara mengunci yang ketat memberikan keselamatan tambahan terhadap kejutan kepada barangan, getaran, dan pendedahan kepada alam sekitar.

Oleh kerana rintangan terma yang sangat baik PFA sehingga 260 ° C, ia serasi dengan proses suhu tinggi seperti penyebaran, pengoksidaan, dan pemendapan wap kimia CVD. Pembawa mengekalkan integriti strukturnya di bawah berbasikal termal berulang dan oleh itu sesuai untuk kedua -dua kumpulan pemprosesan dan pemprosesan automatik.

Pembawa wafer PFA mempunyai aplikasi yang luas dalam pembersihan wafer, etsa basah, fotolitografi CMP, dan lain-lain proses front-end dan back-end dalam fabrikasi IC. Reka bentuk dan kesucian mereka yang mantap menjadikannya ideal untuk digunakan dalam Fabs, Labs R & D, dan peralatan OEM yang memerlukan protokol kawalan pencemaran yang ketat.

DisesuaikanPembawa wafer PFABoleh dibangunkan untuk memenuhi keperluan automasi tertentu, termasuk pengendalian robot, sistem trek, dan pengangkutan menegak/mendatar. Pembawa serasi sepenuhnya dengan peralatan pengendalian wafer standard dan alat pembuatan semikonduktor.