Bot Kuarza 12".

Kejuruteraan dengan ketepatan dan dibina daripada kuarza ketulenan tinggi, Bot Semicorex Quartz 12” menyediakan penyelesaian optimum untuk tugas pemprosesan wafer yang halus dan kritikal.

Di tengah-tengah fabrikasi semikonduktor, kualiti dan kebolehpercayaan peralatan yang digunakan boleh memberi kesan ketara kepada prestasi dan hasil produk akhir. Bot Kuarza 12” cemerlang dalam hal ini, menawarkan kestabilan haba yang tiada tandingan, rintangan kimia dan kekuatan mekanikal. Sifat unggulnya memastikan wafer dipegang dan dilindungi dengan selamat sepanjang pelbagai peringkat pemprosesan, termasuk penyepuhlindapan suhu tinggi, pemendapan wap kimia (CVD) dan pengoksidaan.

Salah satu ciri menonjol Bot Kuarza 12” ialah kestabilan haba yang luar biasa. Kuarza terkenal dengan keupayaannya untuk menahan suhu yang melampau tanpa ubah bentuk atau degradasi. Ini amat penting semasa proses suhu tinggi di mana mengekalkan integriti struktur adalah penting untuk mengelakkan pencemaran wafer atau pecah. Reka bentuk Bot Kuarza 12” memanfaatkan sepenuhnya sifat terma kuarza, memastikan pengagihan haba yang seragam dan meminimumkan tekanan terma pada wafer. Ini membawa kepada proses yang lebih konsisten dan hasil yang lebih berkualiti.

Selain kestabilan terma, Bot Kuarza 12” mempamerkan rintangan kimia yang sangat baik. Semasa fabrikasi semikonduktor, wafer terdedah kepada pelbagai bahan kimia, termasuk asid, alkali dan gas reaktif. Bahan kuarza ketulenan tinggi sememangnya tahan terhadap bahan menghakis ini, menghalang sebarang tindak balas buruk yang boleh menjejaskan wafer. Lengai kimia ini memastikan bahawa bot tidak memasukkan sebarang kekotoran, dengan itu mengekalkan integriti dan ketulenan peranti semikonduktor yang dihasilkan.