Tiub relau kuarza

Tiub relau kuarza Semicorex, bot wafer, kuarza crucibles untuk pertumbuhan kristal tunggal silikon semuanya diperbuat daripada kemurnian tinggikuarza materiaL. Kuarza digunakan secara meluas dalam industri semikonduktor, kuarza kesucian tinggi adalah yang penting dalam fabrikasi wafer. Pasaran sasaran utama bahagian kuarza dalam bidang semikonduktor adalah proses penyebaran dan etsa dalam fabrikasi wafer, boleh dibahagikan kepada dua kategori utama: bahagian suhu tinggi dan bahagian suhu rendah.

1. Bahagian suhu tinggi adalah tiub relau kuarza, bot wafer, pemegang bot, dan lain-lain.

2. Bahagian suhu rendah adalah cincin kuarza dalam proses etsa, dan termasuk kaset, tangki pembersihan dalam proses pembersihan. Mereka terutamanya digunakan dalam persekitaran suhu rendah, yang kebanyakannya diperbuat daripada kaca kuarza bersatu, yang dihasilkan melalui pemprosesan sejuk.

Komponen di zon suhu tinggi dimakan dengan lebih cepat, tetapi biasanya digunakan dalam sistem berbilang wafer (satu pembawa yang memegang wafer silikon berganda), manakala komponen di zon suhu rendah dimakan lebih perlahan, tetapi ia digunakan dalam sistem single-single (satu pembawa memegang satu wafer silikon); Oleh itu, saiz pasaran keseluruhan untuk kedua -duanya agak serupa.

Relau adalah kawasan di mana wafer menjalani proses pemanasan suhu tinggi, terdiri daripada tiub relau kuarza, reaktor dan beberapa pemanas, ia digunakan secara meluas dalam penyebaran, pengoksidaan, proses RTP dalam pemprosesan semikonduktor. Relau ini dibahagikan kepada jenis mendatar dan menegak:. Dalam relau mendatar, wafer diletakkan di atas bot kuarza, yang seterusnya diletakkan pada pembawa sic. Terdapat juga baffles adaptif di bahagian depan dan belakang. Pembawa itu ditolak ke dalam tiub relau kuarza, dan wafer menjalani tindak balas dalam zon suhu malar. Di dalam relau menegak, wafer diletakkan di atas menara kuarza dan kemudian perlahan -lahan dibangkitkan ke dalam tiub relau kuarza untuk diproses.

Oleh kerana suhu tinggi yang terlibat dalam proses di atas, untuk mengelakkan ubah bentuk dan keruntuhan tiub relau kuarza selepas penggunaan berulang dan berpanjangan, tiub relau kuarza yang tahan terhadap ubah bentuk dan keruntuhan dan mempunyai hayat perkhidmatan yang panjang harus digunakan semasa pengeluaran.

Berikut adalah kelebihankuarzatiub relau:

1. Rintangan suhu tinggi. Kaca kuarza mempunyai titik pelembut kira-kira 1730 ℃ dan boleh digunakan untuk tempoh yang panjang pada 1150 ℃, dengan suhu maksimum jangka pendek mencapai 1450 ℃.

2. Rintangan kakisan. Kecuali untuk asid hidrofluorik, kuarza kemelut tinggi tidak dapat bertindak balas secara kimia dengan bahan-bahan berasid yang lain. Pada suhu tinggi, ia dapat menahan kakisan dari asid sulfurik, asid nitrik, asid hidroklorik, aqua regia, garam neutral, karbon, dan sulfur. Rintangan asidnya adalah 30 kali seramik dan 150 kali keluli tahan karat.  Kestabilan kimianya, terutamanya pada suhu tinggi, tidak dapat ditandingi oleh bahan kejuruteraan lain.

3. Kestabilan terma yang baik. Kuarza kemelut tinggi mempunyai pekali pengembangan haba yang sangat rendah dan dapat menahan perubahan suhu drastik.  Pemanasan kuarza kemelut tinggi hingga sekitar 1100 ℃ dan kemudian merendamnya dalam air suhu bilik tidak akan menyebabkan ia menghancurkan.

4. Prestasi penghantaran cahaya yang baik. Kuarza kemelut tinggi mempunyai prestasi penghantaran cahaya yang baik di seluruh spektrum dari Ultraviolet hingga Inframerah. Transmisi cahaya yang kelihatan melebihi 93%, dan dalam spektrum ultraviolet, transmisi maksimum dapat mencapai lebih dari 80%.

5. Prestasi penebat elektrik yang baik. Resistiviti kuarza kemelut tinggi adalah sepuluh ribu kali ganda kaca kuarza biasa, menjadikannya bahan penebat elektrik yang sangat baik, yang memiliki sifat elektrik yang baik walaupun pada suhu tinggi.