Penebat tegar

Penebat tegar Semicorex direka khas untuk proses epitaxial SIC, dengan struktur pemasangan yang unik, ketahanan yang tinggi, pencegahan percikan dan prestasi penebat haba yang baik. Penebat tegar adalah penghalang terma berprestasi tinggi yang diperbuat daripada gentian seramik pendek premium. Direkayasa ke dalam struktur yang dirasakan keras, bahan penebat tegar ini menggabungkan kekuatan mekanikal yang sangat baik dengan sifat penebat haba yang unggul, menjadikannya sesuai untuk keadaan menuntut di dalam persekitaran pembuatan semikonduktor.

Silicon gred semikonduktor dan karbida silikon biasanya perlu disediakan dalam persekitaran suhu tinggi menggunakan instrumen tertentu seperti silikon tunggal kristal yang menarik relau dan silikon karbida pertumbuhan kristal tunggal, dan terdapat keperluan yang lebih ketat untuk persekitaran penyediaan. Sebagai contoh, penyelenggaraan suhu penyediaan dan pengurangan gangguan kekotoran luaran. Atas sebab ini, penebat haba dirasakan ditenun dari serat karbon kemelut tinggi muncul, dan dengan kelebihannya yang mudah dicetak, tidak mudah untuk memecahkan, prestasi penebat haba yang kuat, dan kandungan kekotoran yang rendah, ia menjadi "pakaian hangat" sebelum kelahiran semikonduktor.

Menggunakan serat karbon berasaskan pan dan serat karbon berasaskan viscose dirasakan sebagai bahan mentah, penebat tegar disediakan melalui proses seperti perendaman, ikatan, pengawetan, rawatan haba, dan pemesinan. Ia digunakan secara meluas dalam peralatan suhu tinggi seperti serbuk metalurgi perindustrian, relau sintering vakum, relau kristal tunggal fotovoltaik, relau polikristalin, dan tungku pertumbuhan kristal semikonduktor. Ia mempunyai rintangan mampatan yang baik dan prestasi penebat haba yang sangat baik. Berbanding dengan rasa lembut, penebat tegar mempunyai kelebihan pemasangan mudah, saiz stabil, pelemahan penebat haba yang rendah, dan hayat perkhidmatan yang panjang.