Tiub Resapan Kuarza Gred Semikonduktor

Bot kuarzabiasanya digunakan dalam keadaan operasi kakisan kimia bersuhu tinggi dan keras. Semasa operasi, wafer semikonduktor diletakkan di dalam bot kuarza dan dimasukkan ke dalam tiub resapan kuarza. Apabila tiub resapan mencapai suhu yang diperlukan (beberapa ratus hingga beberapa ribu darjah Celcius), proses gas (cth., O₂, N₂, H₂, Ar) dan gas dopan (cth. POCl₃, BBr₃) dimasukkan ke dalam tiub resapan kuarza melalui port gas untuk melakukan separakonfusi dan pengoksidaan. Selain itu, untuk meningkatkan keseragaman dan ketepatan resapan, beberapa proses resapan perlu dijalankan dalam persekitaran tekanan rendah. 

Dalam proses pembuatan semikonduktor lanjutan, sebarang kesilapan atau kekurangan sedikit dalam proses ini boleh menyebabkan kegagalan proses seterusnya. Oleh itu, sebagai bahagian penting dalam pembuatan semikonduktor, kualiti tiub resapan kuarza adalah amat penting dan secara langsung mempengaruhi hasil dan prestasi peranti semikonduktor.

Spesifikasi Semicorex Kuarza Gred Semikonduktor

Tiub resapan kuarza gred semikonduktor semicorex dihasilkan dengan teliti daripada kualiti tinggikuarza gred semikonduktorbahan. Berikut adalah parameter khusus:

Parameter boleh disesuaikan mengikut keperluan pelanggan.

Prestasi Tiub Resapan Kuarza Gred Semikonduktor Semicorex

Bergantung pada teknologi pemprosesan kami yang berpengalaman dan pemilihan bahan yang boleh dipercayai, gred semikonduktor Semicorextiub resapan kuarzamenunjukkan prestasi unggul di bawah keadaan operasi yang mencabar:

1. Prestasi rintangan suhu tinggi

Tiub resapan kuarza gred semikonduktor semikonduktor memberikan rintangan suhu tinggi yang luar biasa, yang membolehkannya beroperasi secara stabil dalam persekitaran suhu tinggi sehingga 1200 ℃ tanpa sebarang ubah bentuk atau kerosakan.

2. Prestasi kestabilan terma

Mempunyai pekali pengembangan terma yang luar biasa, tiub resapan kuarza gred semikonduktor Semicorex mampu menahan tekanan haba semasa pemanasan atau penyejukan pantas tanpa mudah retak atau berubah bentuk.

3. Prestasi rintangan kimia

Tiub resapan kuarza gred semikonduktor semikonduktor memberikan lengai kimia yang unggul dalam persekitaran menghakis suhu tinggi dan keras. Prestasi ini sangat menghalang bahan cemar yang dihasilkan daripada tindak balasnya dengan gas proses daripada menjejaskan kualiti wafer.