Semicorex Semiconductor Graphite Heater adalah peranti pemanasan kecekapan tinggi yang diperbuat daripada grafit isostatik berkualiti tinggi. Ia digunakan secara meluas dalam proses proses teras pembuatan semikonduktor, seperti bidang termal relau pertumbuhan kristal, proses pertumbuhan epitaxial, peralatan implantasi ion, peralatan etsa plasma, dan pengeluaran acuan sintering peranti semikonduktor.
SemikonduktorPemanas grafitadalah peranti pemanasan lanjutan yang diperbuat daripada bahan grafit isostatik yang tinggi. Kekonduksian elektrik yang sangat baik dan kekonduksian terma memastikan kawalan suhu yang tepat dan pengagihan haba seragam untuk pertumbuhan dan pemprosesan bahan semikonduktor. Apabila arus elektrik melepasi pemanas, ia mengatasi rintangan elektrik dalaman grafit, menukar tenaga elektrik ke dalam haba, meningkatkan suhu grafit dan mencapai pemanasan. Kawalan suhu yang tepat biasanya boleh dicapai dengan menyesuaikan intensiti semasa elektrik dan rintangan pemanas.
Semicorex yang dipilih dengan telitigrafit isostatikMempamerkan kekonduksian terma yang sangat baik, membolehkannya dengan cepat dan merata pemindahan haba ke setiap sudut kawasan pemanasan, dengan berkesan menghalang terlalu panas setempat.
Terutama, walaupun terdedah kepada keadaan suhu yang sangat tinggi, seperti ablasi arka ultra tinggi, grafit isostatik kemelut tinggi mengekalkan ciri-ciri fizikal dan kimia yang stabil. Haba sengit biasanya akan menyebabkan bahan mencairkan, mengubah, atau mengoksida, tetapi jenis grafit ini dapat menahan perubahan tersebut. Ini menjadikannya sesuai untuk proses suhu tinggi dalam pengeluaran semikonduktor, termasuk pertumbuhan kristal silikon tunggal kristal dan silikon karbida.
Pemanas grafit semikonduktor dicirikan oleh kecekapan tenaga. Ia tidak memerlukan pemanasan, mencapai suhu yang ditetapkan dengan cepat, dan mencapai penjimatan tenaga yang ketara berbanding pemanas tradisional. Kecekapan penukaran haba yang tinggi berkesan mengurangkan penggunaan tenaga, merealisasikan pemuliharaan tenaga dan pengurangan penggunaan. Semasa operasi, ia tidak menghasilkan bahan pencemar atau gas ekzos, memenuhi keperluan alam sekitar.
Di samping itu, pemanas grafit semikonduktor menawarkan hayat perkhidmatan yang panjang. Grafit isostatik kemelut tinggi menguasai mereka dengan kekuatan mekanikal yang unggul, rintangan kakisan yang kuat, dan rintangan kejutan terma yang sangat baik. Mereka kurang terdedah kepada faktor -faktor seperti suhu tinggi dan kakisan kimia, yang membolehkan hayat perkhidmatan yang dilanjutkan.