Bot Penyepuh Silikon

Bot Penyepuh Silikon Semicorex, direka dengan teliti untuk mengendalikan dan memproses wafer silikon, memainkan peranan penting dalam mencapai peranti semikonduktor berprestasi tinggi. Ciri reka bentuk yang unik dan sifat bahan menjadikannya penting untuk langkah fabrikasi kritikal seperti resapan dan pengoksidaan, memastikan pemprosesan seragam, memaksimumkan hasil dan menyumbang kepada kualiti dan kebolehpercayaan keseluruhan peranti semikonduktor.**

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Ketulenan Ultra Tinggi untuk Persekitaran Pemprosesan Murni: Bot Penyepuh Silikon Semicorex, diperbuat daripada silikon ketulenan ultra tinggi (sehingga ketulenan 13N), meminimumkan risiko pencemaran semasa pemprosesan suhu tinggi. Ketulenan yang luar biasa ini memastikan bahawa wafer terdedah kepada persekitaran yang bersih, menghalang pengenalan kekotoran yang tidak diingini yang boleh merendahkan prestasi peranti dan mengurangkan hasil.

Hubungan Wafer yang Dikurangkan untuk Kerosakan yang Diminimumkan:Permukaan Bot Penyepuh Silikon yang licin dan digilap meminimumkan titik sentuhan dengan wafer, dengan ketara mengurangkan risiko calar, serpihan atau kerosakan mekanikal lain semasa pengangkutan dan pemprosesan. Pengendalian berhati-hati ini mengekalkan integriti wafer, meningkatkan hasil keseluruhan proses dan menyumbang kepada peranti berkualiti tinggi.

Reka Bentuk Boleh Disesuaikan untuk Prestasi Dioptimumkan: Reka bentuk Bot Annealing Silikon boleh disesuaikan untuk memenuhi keperluan proses tertentu, termasuk variasi dalam bentuk bot, panjang, sudut dan bilangan gigi sokongan wafer. Penyesuaian ini membolehkan pengoptimuman dinamik aliran gas, keseragaman suhu dan jarak wafer dalam relau, memastikan hasil pemprosesan yang konsisten dan boleh berulang untuk pelbagai geometri peranti dan parameter proses.

Had Pemendapan Polysilicon Tinggi untuk Operasi Lanjutan:Bot Penyepuh Silikon memberikan toleransi yang tinggi untuk pemendapan polysilicon, membolehkan operasi lanjutan sebelum pembersihan atau penggantian diperlukan. Jangka hayat yang dilanjutkan ini mengurangkan masa henti peralatan yang berkaitan dengan penyelenggaraan, menyumbang kepada peningkatan kapasiti pengeluaran dan menurunkan kos pembuatan keseluruhan.