Alas Silikon

Semicorex Silicon Pedestal, komponen yang sering diabaikan namun sangat penting, memainkan peranan penting dalam mencapai keputusan yang tepat dan boleh berulang dalam proses resapan dan pengoksidaan semikonduktor. Platform khusus, di mana bot silikon diletakkan dalam relau suhu tinggi, menawarkan kelebihan unik yang secara langsung menyumbang kepada keseragaman suhu yang dipertingkatkan, kualiti wafer yang dipertingkatkan dan akhirnya, prestasi peranti semikonduktor yang unggul.**

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

1. Semicorex Silicon Pedestal Menstabilkan Persekitaran Pemprosesan untuk Hasil Yang Optimum:

Mencipta Asas Stabil untuk Bot Kristal: Silicon Pedestal menyediakan platform yang teguh dan stabil dari segi haba untuk bot silikon dalam ruang relau suhu tinggi. Kestabilan ini memastikan bot mengekalkan kedudukan dan orientasinya sepanjang proses, menghalang pergerakan atau kecondongan yang tidak diingini yang boleh mengganggu dinamik aliran gas dan menjejaskan keseragaman suhu.

Meningkatkan Keseragaman Suhu dalam Ruang Tindak Balas:Dengan mengasingkan bot silikon dengan berkesan daripada lantai dan dinding relau, Silicon Pedestal meminimumkan kehilangan haba melalui pengaliran dan menggalakkan pengagihan suhu yang lebih seragam dalam tiub tindak balas haba. Keupayaan pengurusan haba yang dipertingkatkan ini adalah penting untuk mencapai profil resapan atau pengoksidaan yang konsisten dan boleh berulang di seluruh permukaan wafer.

Meningkatkan Kecekapan Penebat untuk Penggunaan Tenaga Dioptimumkan:Sifat penebat haba yang wujud pada Silicon Pedestal menyumbang kepada proses yang lebih cekap tenaga dengan meminimumkan kehilangan haba kepada persekitaran sekeliling. Ini diterjemahkan kepada kitaran pemanasan dan penyejukan yang lebih pantas, penggunaan tenaga yang dikurangkan, dan akhirnya, kos pemprosesan keseluruhan yang lebih rendah.

2. Sinergi Bahan untuk Kualiti Wafer Unggul:

Pengembangan Terma Memadankan untuk Tekanan Wafer yang Dikurangkan:Silicon Pedestal, yang direka daripada bahan silikon ketulenan tinggi yang sama seperti bot dan wafer itu sendiri, menawarkan kelebihan penting berbanding bahan alternatif seperti kuarza atau silikon karbida. Sinergi bahan ini memastikan kekaki, bot dan wafer mengembang dan mengecut pada kadar yang hampir sama semasa kitaran pemanasan dan penyejukan, meminimumkan risiko tegasan haba, tunduk wafer dan kecacatan kristalografi yang boleh memberi kesan negatif kepada hasil dan prestasi peranti.

Meminimumkan Pencemaran dan Ketidakpadanan Kekisi:Penggunaan silikon ketulenan tinggi untuk kedua-dua Silicon Pedestal dan bot menghapuskan potensi pencemaran daripada bahan yang berbeza, memastikan persekitaran pemprosesan yang murni untuk wafer. Keserasian bahan ini juga meminimumkan risiko ketidakpadanan kekisi pada antara muka wafer-bot, seterusnya menyumbang kepada kualiti kristal yang lebih baik dan mengurangkan ketumpatan kecacatan.