Cincin Pengedap bersalut TaC

Semicorex TaC-coated Seal Ring yang digunakan pada komponen pengedap memberikan kelebihan prestasi yang luar biasa dalam persekitaran fabrikasi semikonduktor yang mencabar. Salutan TaC menangani cabaran kritikal yang berkaitan dengan rintangan kimia, suhu melampau dan haus mekanikal, membolehkan hasil proses yang lebih tinggi, meningkatkan masa operasi peralatan, dan akhirnya, mengurangkan kos pembuatan. Kami di Semicorex berdedikasi untuk mengeluarkan dan membekalkan Gelang Pengedap bersalut TaC berprestasi tinggi yang menggabungkan kualiti dengan kecekapan kos.**

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Semicorex TaC-coated Seal Ring mempamerkan lengai yang luar biasa kepada pelbagai gas menghakis dan bahan kimia yang digunakan dalam proses semikonduktor, termasuk kimia etsa plasma (cth., fluorin, klorin, bromin), dopan (cth., boron, fosforus, arsenik), dan agresif agen pembersih. Lengai ini menghalang degradasi meterai dan pencemaran ruang proses sensitif.

Dan dengan takat lebur melebihi 3800°C, Cincin Mohor bersalut TaC mengekalkan integriti struktur dan kekuatan mekanikalnya pada suhu tinggi yang dihadapi semasa pemprosesan wafer. Ini memastikan prestasi pengedap yang boleh dipercayai semasa proses penyepuhlindapan, pemendapan dan goresan suhu tinggi.

Kekerasan melampau dan pekali geseran rendah Cincin Seal bersalut TaC memberikan ketahanan yang luar biasa terhadap haus, calar dan lelasan. Ini penting dalam aplikasi pengedap dinamik di mana gerakan berulang atau sentuhan dengan wafer dan komponen lain boleh menyebabkan penjanaan zarah dan kegagalan pengedap.

Cincin Seal bersalut TaC mempamerkan kadar gas keluar yang sangat rendah, walaupun pada suhu tinggi, menjadikannya sesuai untuk aplikasi vakum tinggi. Ini memastikan ketulenan proses dan menghalang pemendapan bahan cemar yang tidak diingini pada permukaan wafer yang sensitif.

Faedah Khusus dalam Aplikasi Semikonduktor:

Jangka Hayat Meterai Dilanjutkan:Cincin Pengedap bersalut TaC meningkatkan jangka hayat pengedap dengan ketara dengan memberikan rintangan yang unggul terhadap serangan kimia, degradasi haba dan haus mekanikal. Ini mengurangkan kekerapan penggantian pengedap, meminimumkan masa henti dan kos penyelenggaraan.

Peningkatan Hasil Proses dan Kualiti Wafer:Sifat lengai Cincin Seal bersalut TaC meminimumkan penjanaan zarah dan pencemaran, membawa kepada hasil proses yang lebih tinggi dan kualiti wafer yang lebih baik. Ini penting untuk pengeluaran peranti semikonduktor berprestasi tinggi dengan toleransi kecacatan yang ketat.

Masa Operasi dan Produktiviti Peralatan yang Dipertingkatkan:Jangka hayat pengedap yang lebih lama dan keperluan penyelenggaraan yang dikurangkan menyumbang kepada peningkatan masa operasi peralatan dan produktiviti keseluruhan. Ini penting untuk memaksimumkan keluaran dan memenuhi permintaan pembuatan semikonduktor volum tinggi.