Grafit salutan TaC dicipta dengan menyalut permukaan substrat grafit ketulenan tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida oleh proses Pemendapan Wap Kimia (CVD) proprietari.
Tantalum karbida (TaC) adalah sebatian yang terdiri daripada tantalum dan karbon. Ia mempunyai kekonduksian elektrik logam dan takat lebur yang sangat tinggi, menjadikannya bahan seramik refraktori yang terkenal dengan kekuatan, kekerasan dan rintangan haba dan hausnya. Takat lebur Tantalum Carbides memuncak pada kira-kira 3880°C bergantung kepada ketulenan dan mempunyai salah satu takat lebur tertinggi di antara sebatian binari. Ini menjadikannya alternatif yang menarik apabila permintaan suhu yang lebih tinggi melebihi keupayaan prestasi yang digunakan dalam proses epitaxial semikonduktor kompaun seperti MOCVD dan LPE.
Data bahan Salutan TaC Semicorex
Projek |
Parameter |
Ketumpatan |
14.3 (gm/cm³) |
Emisiviti |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Kekerasan (HK) |
2000 |
Rintangan (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Kestabilan Terma |
<2500 ℃ |
Perubahan Dimensi Grafit |
-10~-20um (nilai rujukan) |
Ketebalan Salutan |
≥20um nilai biasa (35um±10um) |
|
|
Di atas adalah nilai biasa |
|
Semicorex TaC-coated Seal Ring yang digunakan pada komponen pengedap memberikan kelebihan prestasi yang luar biasa dalam persekitaran fabrikasi semikonduktor yang mencabar. Salutan TaC menangani cabaran kritikal yang berkaitan dengan rintangan kimia, suhu melampau dan haus mekanikal, membolehkan hasil proses yang lebih tinggi, meningkatkan masa operasi peralatan, dan akhirnya, mengurangkan kos pembuatan. Kami di Semicorex berdedikasi untuk mengeluarkan dan membekalkan Gelang Pengedap bersalut TaC berprestasi tinggi yang menggabungkan kualiti dengan kecekapan kos.**
Baca LagiHantar PertanyaanSusceptor Bersalut Semicorex Tantalum Carbide ialah komponen kritikal, memainkan peranan penting dalam proses pemendapan yang penting untuk mencipta wafer semikonduktor. Semicorex komited untuk menyediakan produk berkualiti pada harga yang kompetitif, kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China*.
Baca LagiHantar PertanyaanSemicorex Tantalum Carbide Chuck ialah komponen termaju yang digunakan dalam peralatan pembuatan semikonduktor, terkenal dengan sifat terma dan mekanikal yang luar biasa. Semicorex komited untuk menyediakan produk berkualiti pada harga yang kompetitif, kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China*.
Baca LagiHantar PertanyaanSemicorex TaC Coated Ring berdiri sebagai komponen kritikal yang memenuhi keperluan yang mendesak ini. Semicorex komited untuk menyediakan produk berkualiti pada harga yang kompetitif, kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China*.
Baca LagiHantar PertanyaanKepala pancuran mandian bersalut Semicorex TaC adalah penting dalam proses pemendapan wap kimia, memberikan prestasi dan jangka hayat yang tiada tandingan. Semicorex komited untuk menyediakan produk berkualiti pada harga yang kompetitif, kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China*.
Baca LagiHantar PertanyaanChuck bersalut Semicorex TaC mewakili kemajuan yang ketara dalam bidang pembuatan semikonduktor. Semicorex komited untuk menyediakan produk berkualiti pada harga yang kompetitif, kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China*.
Baca LagiHantar Pertanyaan