Kaset Teflon

Kaset Semicorex Teflon adalah pembawa wafer berprestasi tinggi yang direka khusus untuk digunakan dalam menuntut persekitaran kimia di mana kesucian, rintangan kimia, dan kestabilan terma adalah penting. Diperbuat daripada polytetrafluoroethylene (PTFE), kaset ini digunakan secara meluas dalam pembuatan semikonduktor, etsa basah, pembersihan kimia, dan aplikasi lain di mana pendedahan kepada bahan kimia yang sangat agresif adalah rutin. Sifat tidak reaktif mereka menjadikan mereka sesuai untuk mengendalikan substrat halus seperti wafer silikon, panel kaca, dan komponen ketepatan lain tanpa memperkenalkan pencemaran atau partikel ke dalam proses.

Dalam pelbagai proses pembuatan semikonduktor, seperti litografi, etsa, dan implantasi ion, kaset memainkan peranan dalam mengangkut dan memindahkan wafer antara peranti yang berbeza. Peralatan proses yang berbeza mungkin mempunyai keperluan antara muka yang berbeza untuk kaset untuk memastikan pembawa wafer dapat diterima dengan tepat dan diletakkan.

Dari perspektif bahan dan reka bentuk, bahan-bahan yang tahan panas, mempunyai sifat mekanikal yang sangat baik, kestabilan dimensi, dan tahan lama, anti-statik, rendah, hujan rendah, dan kitar semula biasanya digunakan. Saiz wafer yang berbeza, nod proses, dan proses menggunakan bahan yang berbeza. Bahan umum adalah PFA, PTFE, PP, PEEK, PES, PC, PBT, PEI, COP, dll.

Kaset Teflon menawarkan rintangan kimia yang unggul dalam persekitaran menggunakan asid hidrofluorik, asid nitrik, asid sulfurik, dan lain -lain korosif yang kuat. Tidak seperti bahan konvensional seperti polipropilena atau keluli tahan karat, PTFE merendahkan tidak; tidak membengkak; Leaches Tiada bahan dalam mandi kimia yang keras. Oleh itu, prestasi dijamin dalam tempoh yang panjang dan oleh itu kebolehpercayaan kaset untuk garis pengeluaran tinggi dan persekitaran ultra-bersih. Keteguhannya bermakna keperluan penyelenggaraan yang lebih rendah dan kekerapan penggantian, dengan itu mengurangkan kos operasi jangka panjang.

Kaset Teflon menunjukkan kestabilan terma yang sangat tinggi. Mereka boleh dengan mudah menahan suhu dari -200 ° C hingga +260 ° C, yang digunakan untuk kriogenik dan juga untuk proses suhu tinggi. Malah diletakkan di dalam ruang pengeringan yang dipanaskan atau mandi kimia sejuk, kaset tidak kehilangan kekuatan struktur mereka; Mereka tidak meledingkan atau retak, memastikan bahawa wafer akan tetap selamat semasa pemprosesan. Ketahanan suhu ini menyumbang dengan ketara untuk memproses kawalan dan keseragaman, yang penting untuk fabrikasi semikonduktor dan MEMS.

Ciri-ciri yang sama pentingnya kaset Teflon adalah permukaan yang tidak lentur dan tidak melekat. PTFE secara semulajadi tidak membenarkan penjerapan zarah dan sisa kimia, oleh itu mengurangkan risiko pencemaran dalam persekitaran bilik bersih. Ini perlu digabungkan dengan kemasan permukaan licin yang membolehkan pembasmian mudah dan kering dengan cepat, sehingga hasil yang bersih dan hasil kitaran yang lebih cepat. Dalam pemprosesan semikonduktor, di mana kecacatan boleh disebabkan oleh bahan pencemar mikroskopik, kebersihan dan tahap inertness kimia ini adalah wajib.

Setiap kaset dibuat dengan tepat untuk toleransi saiz yang ketat, menjamin penjajaran wafer yang mantap dan jarak semasa dipindahkan dan diletakkan dalam cecair. Bentuk mereka yang mudah direka membantu aliran kimia dan saliran yang cepat, yang mempercepat kadar pertukaran kimia dan meningkatkan keseragaman pembersihan atau etsa pada permukaan wafer.  Kaset ini boleh didapati dalam saiz standard untuk wafer 4-inci, 6 inci, dan 8 inci, dengan pilihan penyesuaian yang tersedia agar sesuai dengan dimensi substrat tertentu, kiraan slot, dan keperluan pengendalian.

Direka untuk keserasian dengan bangku basah automatik dan sistem pengendalian wafer robot, kaset Teflon diintegrasikan dengan mudah ke dalam setup pengeluaran semikonduktor yang paling semikonduktor. Pembinaan mereka yang mantap dan kemasan gred bersih memenuhi permintaan yang ketat dari persekitaran yang diperakui ISO. Semua kaset menjalani pemeriksaan menyeluruh dan terlebih dahulu dibersihkan dalam air ultra-cure untuk memenuhi piawaian kebersihan yang diperlukan untuk pengeluaran mikroelektronik maju. Sijil pematuhan dan kebolehkesanan bahan penuh boleh disediakan untuk memastikan pematuhan protokol jaminan kualiti.