Effector akhir seramik alumina

Semicorex alumina effector akhir seramik adalah alat penting dalam sistem pemindahan wafer automatik, yang menawarkan kekuatan mekanikal yang tidak dapat ditandingi, kestabilan haba, dan rintangan kimia. Dikeluarkan menggunakan kesejahteraan tinggiAlumina (Al₂o₃) Seramik, effector akhir ini direkayasa untuk memenuhi permintaan yang ketat dari persekitaran pemprosesan wafer, di mana ketepatan, kebersihan, dan ketahanan adalah yang paling utama.

Arms robot semikonduktor adalah salah satu bahagian penting peralatan semikonduktor. Mereka biasanya terdiri daripada pengawal, pemandu, lengan dan pengesan akhir. Mereka dicirikan oleh kebersihan yang tinggi, kestabilan yang tinggi, ketepatan tinggi, kecekapan tinggi dan kebolehpercayaan yang tinggi. Robot semikonduktor terutamanya digunakan dalam proses front-end pembuatan semikonduktor untuk membawa, pengangkutan dan kedudukan wafer semikonduktor.

Struktur seramik yang mempunyai kandungan alumina biasanya lebih besar daripada 99.5% akan memberikan kekerasan yang unggul dan rintangan haus untuk gerakan berulang dalam persekitaran ketepatan tinggi tanpa degradasi dari masa ke masa. Kekonduksian terma yang tinggi dan pengembangan terma alumina yang rendah membolehkan kestabilan dimensi dalam persekitaran dengan suhu tinggi, keperluan dalam kebanyakan operasi bersih dalam semikonduktor, seperti dalam alat etcher, depositter, pemeriksaan, atau pembersihan.

TheAlumina SeramikAkhir effector mempunyai kemasan permukaan ciri yang ketara yang licin dan mempunyai keliangan yang rendah, menjadikannya berhampiran zarah sifar yang dihasilkan dan pengurangan atau kesan sifar pada bahan cemar semasa pengendalian wafer. Di samping itu, alumina secara kimia tidak aktif. Ini bermakna ia tidak akan bertindak balas dengan mana -mana gas proses dan sebarang cecair proses yang disentuh dengan wafer. Ini melindungi wafer dan apa -apa pencemaran kepada dirinya sendiri dan peralatan dari apa -apa yang boleh menyebabkan kakisan.

They are generally used as end effectors, or a clamping mechanism, for robotic arms or transfer modules in wafer fabrication equipment and equipment like an etcher or depostion tool, inspection or cleaning tool with precise slots, grooves, or vacuum channels capturing the actual wafer size whether it be 100 mm, 200 mm, or 300 mm and transferring wafers and capturing for replacement. Pengesan akhir biasanya akan mengendalikan kelajuan pemindahan wafer pada 25 cm/saat.

Pilihan penyesuaian wujud di sepanjang garis yang direka untuk antara muka peralatan tertentu atau saiz wafer. Ketegaran struktur alumina membolehkan profil nipis dan ringan yang meminimumkan jisim keseluruhan sistem pengendalian dan membawa kepada masa tindak balas yang lebih cepat. Sesetengah konfigurasi juga boleh menambah komponen anti-statik atau penebat untuk memberikan perlindungan tambahan kepada substrat elektronik yang sensitif.

Secara keseluruhannya, effector akhir seramik alumina menyediakan penyelesaian yang berkesan yang menggalakkan hasil yang lebih baik dan penurunan pencemaran, di mana kebolehpercayaan operasi adalah unsur -unsur utama untuk garis pemprosesan wafer. Dengan ciri-ciri ketahanan dan prestasi fizikalnya, efektor akhir seramik alumina yang berkesan dan kos efektif membezakan dirinya sebagai pilihan yang popular di kalangan pengeluar peralatan semikonduktor dan fabs yang memerlukan standard pengeluaran yang ketat dalam persekitaran yang sangat bersih.