Manipulator Seramik Alumina

Manipulator Seramik Aluminajuga dipanggil garpu seramik alumina dan pengendalian akhir pengendalian wafer. Ia dipasang pada robot pengendalian wafer dan bersamaan dengan tangan robot. Ia digunakan untuk membawa, pengangkutan dan kedudukan wafer semikonduktor.Wafer silikonsangat terdedah kepada pencemaran dari zarah lain, jadi mereka biasanya dikendalikan dalam persekitaran vakum untuk memastikan kebersihan. Manipulator seramik alumina menggunakan sedutan tekanan negatif untuk menghilangkan wafer dan pengangkutan wafer semikonduktor melalui teleskop, berputar, dan mengangkat gerakan. Terdapat lubang udara dan alur pengudaraan di dalam manipulator seramik alumina, yang boleh membentuk vakum ketika mengepam udara, supaya wafer semikonduktor dapat diserap oleh sentuhan ringan tanpa mencubit atau merosakkan wafer semikonduktor.

Sudah diketahui bahawa semakin murni komposisiAlumina Seramikadalah, semakin tinggi kekuatannya. Manipulator seramik alumina Semicorex diperbuat daripada seramik alumina kemelut tinggi. Ini menghasilkan kekuatan dan kekerasan mekanikal yang luar biasa. Rintangan haus mereka jauh melebihi keluli dan keluli krom, yang membolehkan mereka mengekalkan ketepatan permukaan dari masa ke masa dalam persekitaran geseran tinggi, mengurangkan risiko calar wafer dan menjadikannya ideal untuk pengendalian ketepatan tinggi. Manipulator seramik alumina ini mempunyai resistiviti yang tinggi. Ciri -ciri penebat elektrik yang luar biasa dapat mencegah gangguan elektrostatik, dan mengurangkan risiko penjerapan zarah untuk mengekalkan permukaan wafer yang bersih. Selain itu, proses pembuatan semikonduktor melibatkan litar kompleks dan persekitaran voltan tinggi dalam peralatan. Manipulator seramik alumina rintangan tinggi secara berkesan menghalang pengaliran semasa, memastikan keselamatan elektrik semasa pengendalian wafer semikonduktor. Terima kasih kepada rintangan suhu yang tinggi dan kestabilan haba seramik alumina, manipulator berubah sedikit semasa proses rawatan haba semikonduktor, boleh meletakkan wafer dengan tepat, dan mengelakkan sisihan ketepatan yang disebabkan oleh ubah bentuk terma. Selain itu, bahan ini mempunyai kestabilan kimia yang sangat baik dan sangat tahan terhadap kakisan oleh asid, alkali, logam cair, dan lain -lain. Ia tidak mudah bertindak balas dengan bahan -bahan lain untuk melepaskan zarah mencemarkan, dan secara berkesan dapat melindungi bahagian -bahagian semikonduktor dari pencemaran kimia.