Plat asas pemasangan alumina

Plat asas pemasangan alumina Semicorex adalah produk seramik kemelut tinggi yang direka sebagai asas tahan lama dan stabil untuk pelekap kerja-kerja chucks dalam peralatan fabrikasi semikonduktor. Plat ini menyediakan sokongan mekanikal kritikal dan penjajaran untuk operasi pemprosesan wafer seperti litografi, etsa, pemendapan, dan pemeriksaan. Adalah penting untuk menyelaraskan kerja -kerja yang tepat dengan komponen sistem lain untuk memastikan pemprosesan wafer boleh berlaku dengan kesetiaan yang diperlukan. Plat ini dihasilkan melalui teknik pemprosesan khusus untuk seramik untuk mencapai kebosanan yang diperlukan, ketahanan suhu tinggi, dan kebolehpercayaan jangka panjang untuk memenuhi keperluan keras fabrikasi semikonduktor moden dalam kedua-dua proses dan persekitaran bilik bersih.

Plat asas pemasangan alumina Semicorex diperbuat daripada kemarahan tinggiAluminamempunyai tahap kesucian ≧ 99.5% (tipikal). Alumina kemelut tinggi mempunyai sifat mekanikal dan terma yang baik serta kekerasan. Alumina kemelut yang tinggi mempunyai sifat penebat elektrik yang luar biasa yang juga membolehkan plat ini digunakan dalam aplikasi vakum dan voltan tinggi di mana gangguan elektrik mungkin menjadi masalah. Alumina akan tahan terhadap berbasikal haba, yang membolehkan plat mengekalkan ketepatan dimensi yang lebih baik daripada kebanyakan bahan dan bermanfaat untuk mengekalkan penjajaran atau kestabilan struktur disebabkan oleh pengembangan haba yang dikurangkan. Faktor ini adalah penting dalam memastikan kebolehulangan Chuck dan toleransi proses tersirat, semasa beroperasi di atas kitaran pengeluaran yang dilanjutkan.

Dalam sistem pemprosesan semikonduktor, plat asas pemasangan bukan sekadar peranti untuk mengikat mekanikal. Ia adalah medium hubungan haba antara chuck dan seluruh peralatan dan penting untuk pelesapan haba, integriti struktur, dan pengasingan getaran. Tindakan pemprosesan seperti (tetapi tidak terhad kepada) implantasi CVD, PVD, atau ion, di mana suhu tinggi dan tekanan vakum adalah perkara biasa, memerlukan asas pelekap untuk tahan termal, secara kimia & tahan, secara mekanikal, dan tahan terhadap kejutan terma. Kekurangan kimia adalah penting kerana gunung mesti bersesuaian dengan gas reaktif, serta pembersihan kimia, memanjangkan hayat berguna gunung dan mencegah pencemaran.

Setiap plat asas pemasangan alumina yang dibuat oleh Semicorex dimesin dengan toleransi yang dituntut oleh OEM semikonduktor, dan penyepadu peralatan. Plat dimesin ke toleransi yang ketat untuk ketebalan, variasi ketinggian, dan kebosanan untuk memastikan kestabilan dan kebolehulangan maksimum. Plat pemasangan ini boleh dibuat dengan lubang pemasangan, slot, atau countersinks kepada spesifikasi pelanggan untuk lebih baik menampung chuck kerja, peringkat mekanikal, atau peralatan lain. Seramik alumina diproses menggunakan teknik sintering moden dan ketepatan pengisaran untuk mengoptimumkan mikrostruktur seragam dan kualiti permukaan untuk memastikan hubungan haba yang konsisten dan penjajaran untuk digunakan dari masa ke masa.

Plat asas pemasangan alumina Semicorex digunakan dalam pelbagai aplikasi termasuk pengendali wafer, sistem pemindahan robot, perhimpunan chuck vakum, dan peringkat metrologi. Kebolehpercayaan dan ketahanan ini dalam pelbagai situasi proses yang menuntut, menjadikan mereka produk pilihan dengan pengeluar alat mencari komponen seramik penyelenggaraan yang kukuh, tahan lama. Kumpulan kejuruteraan kami mempunyai rakan kongsi dengan pelanggan untuk menyediakan penyelesaian unik yang ditentukan untuk setiap plat untuk memaksimumkan kecekapan untuk pengeluaran dalam semikonduktor.

Plat asas pemasangan alumina lebih daripada sekadar sokongan mekanikal; Ia merupakan komponen utama dalam kejuruteraan ketepatan dalam industri semikonduktor. Dengan kestabilan mekanikal, kesucian, dan konfigurasi yang sangat baik, mereka memastikan penjajaran yang tepat, kehidupan yang panjang, dan operasi yang boleh dipercayai dalam pelbagai alat proses. Untuk plat asas pemasangan prestasi tinggi, memenuhi jangkaan tinggi pengeluar semikonduktor hari ini, Trust Semicorex.