Plat Penggilap Wafer Alumina

Wafer alumina semicorex plat penggilapadalah bahagian mesin ketepatan yang diperbuat daripada alumina ketulenan tinggi dengan menekan isostatik, pensinteran suhu tinggi dan pemesinan ketepatan. Ia sesuai untuk aplikasi penggilap ketepatan dengan keperluan ketat untuk ketepatan dan kecekapan permukaan ultra tinggi, terutamanya untuk penggilap wafer semikonduktor, kerana seramik alumina menawarkan sifat fizikal dan kimia yang luar biasa.

---

Jangka hayat yang panjang untuk rintangan haus yang sangat baik

Rintangan haus yang tinggi adalah penting untuk plat penggilap wafer yang digunakan dalam pemesinan berketepatan tinggi. Kekerasan Mohs bagi seramik alumina adalah sekitar 9, kedua selepas berlian dan silikon karbida, yang membolehkan plat penggilap wafer menahan keadaan operasi geseran berkelajuan tinggi dan tugas tinggi semasa penggilap wafer semikonduktor dengan kehilangan haus yang rendah. Dengan rintangan haus yang sangat baik ini, plat penggilap wafer alumina mempamerkan hayat perkhidmatan yang tahan lama, dengan ketara mengurangkan kekerapan penutupan peralatan untuk penggantian dan mengurangkan perbelanjaan penyelenggaraan dan penggantian.

Kestabilan haba yang luar biasa dan rintangan suhu tinggi

aluminaplat penggilap wafer boleh mengekalkan sifat fizikalnya dan prestasi geseran semasa persekitaran suhu tinggi 1000℃ disebabkan kestabilan haba yang luar biasa dan rintangan suhu tinggi. Ia sesuai untuk keadaan kerja suhu tinggi yang disebabkan oleh geseran yang kerap, berkesan mengelakkan ubah bentuk haba dan menyumbang untuk mengekalkan permukaan penggilap yang berterusan.

Rintangan kakisan kimia yang boleh dipercayai

Plat penggilap wafer alumina mempunyai ketahanan kakisan kimia yang boleh dipercayai. Mereka boleh menahan kebanyakan asid dan alkali, serta penyelesaian penggilap kimia biasa yang digunakan dalam proses CMP. Kerataan permukaannya tidak akan terjejas oleh kakisan kimia, sekali gus menjejaskan kualiti permukaan wafer semikonduktor.

---

Aplikasi untuk plat penggilap wafer Semicorex alumina

1. pengilat wafer semikonduktor

Plat penggilap wafer alumina digunakan secara meluas dalam pengisaran, penggilap kasar dan penggilap kemasan silikon, SiC, nilam dan pelbagai substrat wafer. Terima kasih kepada kekasaran ultra rendah dan kerataan permukaan berskala nano, plat penggilap wafer alumina boleh memenuhi keperluan kualiti permukaan yang tepat bagi proses semikonduktor lanjutan seperti etsa dan litografi.

2. Penipisan wafer dan pengilat tepi

Semasa proses penipisan wafer, plat penggilap wafer alumina boleh digunakan untuk mengawal ketebalan wafer dengan tepat dan mengeluarkan bahan bahagian belakang secara seragam. Dalam proses mengilat tepi, plat penggilap alumina juga boleh membantu mencapai kualiti kelebihan wafer yang optimum dengan menghapuskan burr dan kecacatan pada tepi wafer.