Chucks Alumina Beralur Annular

Chuck alumina beralur annular semicorex menggunakan struktur permukaan yang terdiri daripada satu siri alur anulus sepusat berbilang. Apabila disambungkan dengan pam vakum, alur ini membentuk zon tekanan negatif berbentuk cincin untuk memegang wafer nipis dan bahan kerja secara stabil dengan kedudukan yang tepat. Semicorex annular-grooved alumina chucks berfungsi dengan baik dalam keadaan kerja yang memerlukan pengurusan kerataan yang ketat dan daya penjerapan teragih sekata, yang digunakan secara meluas dalam pegangan wafer, kedudukan pendedahan, etsa plasma, serta pemeriksaan wafer dan proses pemindahan.

Kelebihan Semicorex annular-grooved alumina chucks

1. Rintangan suhu tinggi yang luar biasa

Seramik alumina yang dibuat oleh pensinteran ketumpatan mempamerkan prestasi terma yang luar biasa. Disebabkan sifat material ini, chuck alumina beralur annular Semicorex berfungsi dengan stabil di bawah persekitaran kerja suhu tinggi yang melampau tanpa ubah bentuk struktur dan kemerosotan prestasi dalam penggunaan jangka panjang.

2. Daya penjerapan seragam

Semicorex annular-alurchuck aluminamenampilkan berbilang alur anulus pada permukaan penjerapannya, di mana zon vakum berbentuk cincin yang stabil terbentuk. Konfigurasi ini membolehkan daya penjerapan yang konsisten merentasi kawasan sentuhan wafer utama, yang dengan itu merendahkan ubah bentuk dan lengkokan separa wafer dengan ketara.

3. Kestabilan struktur yang unggul dan ketepatan kedudukan ulangan yang tinggi

Mempunyai ketegaran bahan yang unggul dan kestabilan struktur, chuck alumina beralur annular Semicorex mampu mengekalkan kerataan yang sangat baik dan ketepatan kedudukan yang konsisten semasa operasi pengapit vakum berulang untuk masa yang lama.

4. Rintangan kakisan kimia yang kuat

KeranaaluminaKestabilan kimia yang boleh dipercayai, chuck alumina beralur annular Semicorex menampilkan rintangan yang luar biasa terhadap kebanyakan bahan berasid dan beralkali, serta pelbagai gas proses menghakis dan sangat disesuaikan dengan keadaan operasi menghakis yang mencabar.

5. Kebersihan yang sangat baik

Terima kasih kepada kawalan ketulenan bahan yang ketat dan rawatan ketumpatan, chuck alumina beralur annular Semicorex jarang membuang zarah atau membebaskan kekotoran dalam perkhidmatan, yang memenuhi sepenuhnya piawaian pencemaran rendah yang ketat dalam bilik bersih semikonduktor.

Mengapa memilih Semicorex?

Sebagai syarikat peneraju industri di China, Semicorex disokong dengan barisan pengeluaran bersepadu dan pasukan teknikal yang berpengalaman. Kami boleh menawarkan sokongan teknikal yang disesuaikan dan penyelesaian proses yang dioptimumkan kepada pelanggan kami dan menyediakan mereka dengan pembuatan penyesuaian bukan standard bagi chuck alumina annular-grooved kami dalam ketulenan bahan, bentuk chuck, dimensi, kerataan, toleransi dan keperluan lain.