Bot Wafer Kuarza Mendatar

Bot wafer kuarza mendatarbiasanya memegang wafer semikonduktor secara mendatar dalam tiub relau peralatan rawatan haba, dipanaskan oleh peranti pemanasan luaran. Ia digunakan secara meluas dalam menuntut proses rawatan haba semikonduktor menghakis suhu tinggi, seperti pengoksidaan terma, resapan suhu tinggi, penyepuhlindapan dan proses pemendapan wap kimia (CVD).

Fungsi bot wafer kuarza mendatar Semicorex

1. pegangan dan pengaman yang stabil

Bot wafer kuarza mendatar semicorex mempunyai kapasiti galas beban yang sangat baik dan sentiasa boleh menawarkan sokongan yang stabil untuk beberapa wafer semikonduktor. Dan reka bentuk luaran yang dioptimumkan dan struktur slot yang tepat memastikan setiap satuwaferdipasang dengan sempurna dan diikat kukuh pada bot wafer kuarza mendatar, yang mengurangkan calar dan perlanggaran wafer dengan ketara yang disebabkan oleh goncangan, anjakan dan senget semasa proses pengangkutan dan pembuatan.

2.Memproses bantuan keseragaman

Struktur slot jarak yang sama bagi bot wafer kuarza mendatar membolehkan penempatan wafer semikonduktor yang teratur, sekali gus mewujudkan medan aliran gas yang stabil dan licin dalam relau suhu tinggi. Reka bentuk struktur mencapai sentuhan gas dan kadar tindak balas yang konsisten pada setiap permukaan wafer, dengan itu berkesan mengurangkan pelbagai kecacatan yang disebabkan oleh pemanasan tidak sekata dan sentuhan gas pembezaan, seperti pengoksidaan wafer yang tidak lengkap, pemendapan filem nipis tidak sekata, dan sisihan kepekatan doping.

3. hayat perkhidmatan tahan lama

Terima kasih kepada rintangan suhu tinggi bahan kuarza yang unggul, bot wafer kuarza mendatar Semicorex boleh menahan suhu tinggi 1100-1200 ℃ untuk masa yang lama tanpa ubah bentuk atau lebur.Kuarzalengai secara kimia kepada gas yang biasa digunakan dalam proses semikonduktor, seperti oksigen, nitrogen, dan hidrogen klorida. Kelalaian kimia yang luar biasa ini boleh meminimumkan risiko kakisan daripada gas proses, memanjangkan hayat perkhidmatan dan mengurangkan masa dan kos penggantian peralatan.