LTOI wafer

Semicorex menawarkan wafer LTOI berkualiti tinggi, yang direka untuk aplikasi canggih dalam penapis RF, peranti optik, dan teknologi MEMS. Wafers kami mempunyai lapisan lithium tantalate (LT) dengan julat ketebalan 0.3-50 μm, memastikan prestasi piezoelektrik yang luar biasa dan kestabilan haba.

Tersedia dalam saiz 6 inci dan 8 inci, wafer ini menyokong pelbagai orientasi kristal, termasuk pemotongan x, z, dan Y-42, menyediakan fleksibiliti untuk keperluan peranti yang berbeza. Substrat penebat boleh disesuaikan dengan Si, Sic, Sapphire,

 Spinel, atau kuarza, mengoptimumkan prestasi untuk aplikasi tertentu.

Lithium tantalate (LT, Litao3) kristal adalah bahan kristal pelbagai fungsi penting dengan kesan piezoelektrik, ferroelektrik, acousto-optik dan elektro-optik yang sangat baik. Kristal LT gred akustik yang memenuhi aplikasi piezoelektrik boleh digunakan untuk menyediakan resonator akustik jalur lebar frekuensi tinggi, transduser, garis kelewatan, penapis dan peranti lain, yang digunakan dalam komunikasi mudah alih, komunikasi satelit, pemprosesan isyarat digital, bidang tentera.

Peranti gelombang akustik permukaan tradisional (SAW) disediakan pada blok kristal tunggal LT, dan peranti besar dan tidak serasi dengan proses CMOS. Penggunaan filem nipis kristal piezoelektrik berprestasi tinggi adalah pilihan yang baik untuk meningkatkan integrasi peranti SAW dan mengurangkan kos. Peranti SAW berdasarkan filem-filem nipis kristal tunggal piezoelektrik bukan sahaja dapat meningkatkan keupayaan integrasi peranti SAW dengan menggunakan bahan semikonduktor sebagai substrat, tetapi juga meningkatkan kelajuan penghantaran gelombang bunyi dengan memilih substrat silikon, nilam atau berlian. Substrat ini dapat menindas kehilangan gelombang dalam penghantaran dengan membimbing tenaga di dalam lapisan piezoelektrik. Oleh itu, memilih filem kristal tunggal dan proses penyediaan piezoelektrik yang betul adalah faktor utama untuk mendapatkan peranti SAW yang berprestasi tinggi, kos rendah, dan sangat bersepadu.

Untuk memenuhi keperluan mendesak generasi peranti akustik piezoelektrik generasi akan datang untuk integrasi, pengurangan, frekuensi tinggi, dan jalur lebar yang besar di bawah trend pembangunan integrasi dan miniaturisasi front-end RF, teknologi yang dipotong oleh Crystal. Penyelesaian dan penyelesaian untuk pembangunan prestasi yang lebih tinggi dan peranti pemprosesan isyarat RF yang lebih rendah. LTOI adalah teknologi revolusioner. Peranti SAW berdasarkan wafer LTOI mempunyai kelebihan saiz kecil, jalur lebar besar, kekerapan operasi yang tinggi, dan integrasi IC, dan mempunyai prospek aplikasi pasaran yang luas.

Teknologi pelucutan implan kristal (CIS) boleh menyediakan bahan-bahan filem nipis kristal yang berkualiti tinggi dengan ketebalan submicron, dan mempunyai kelebihan proses penyediaan yang dikawal, parameter proses laras seperti tenaga implan ion, dos implantasi, dan suhu penyepuhlindapan. Sebagai teknologi CIS matang, teknologi pintar potong berdasarkan teknologi CIS dan teknologi ikatan wafer bukan sahaja dapat meningkatkan hasil bahan substrat, tetapi juga mengurangkan kos melalui pelbagai penggunaan bahan. Rajah 1 adalah gambarajah skematik implantasi ion dan ikatan wafer dan mengelupas. Teknologi pintar mula dibangunkan oleh Soitec di Perancis dan digunakan untuk penyediaan silikon-on-insulator (SOI) yang berkualiti tinggi [18]. Teknologi potong pintar bukan sahaja dapat menghasilkan wafer SOI berkualiti tinggi dan kos rendah, tetapi juga mengawal ketebalan SI pada lapisan penebat dengan mengubah tenaga implantasi ion. Oleh itu, ia mempunyai kelebihan yang kuat dalam penyediaan bahan SOI. Di samping itu, teknologi potong pintar juga mempunyai keupayaan untuk memindahkan pelbagai filem kristal tunggal ke substrat yang berbeza. Ia boleh digunakan untuk menyediakan bahan-bahan filem nipis multilayer dengan fungsi dan aplikasi khas, seperti membina filem LT pada substrat SI dan menyediakan bahan-bahan filem nipis piezoelektrik berkualiti tinggi pada silikon (SI). Oleh itu, teknologi ini telah menjadi cara yang berkesan untuk menyediakan filem kristal tunggal litium yang berkualiti tinggi.