Apa cincin dalam etsa

Dalam pembuatan cip, fotolitografi dan etsa adalah dua langkah yang rapat. Fotolitografi mendahului etsa, di mana corak litar dibangunkan pada wafer menggunakan photoresist. Etching kemudian menghilangkan lapisan filem yang tidak dilindungi oleh photoresist, melengkapkan pemindahan corak dari topeng ke wafer dan bersiap untuk langkah -langkah berikutnya seperti implantasi ion.

Etching melibatkan penyingkiran selektif bahan yang tidak perlu menggunakan kaedah kimia atau fizikal. Berikutan salutan, menentang salutan, fotolitografi, dan pembangunan, etsa menghilangkan bahan filem nipis yang tidak perlu yang terdedah pada permukaan wafer, hanya meninggalkan kawasan yang dikehendaki. Photoresist yang berlebihan kemudian dikeluarkan. Mengulangi langkah -langkah ini berulang kali mewujudkan litar bersepadu yang kompleks. Kerana etsa melibatkan penyingkiran bahan, ia dipanggil "proses subtractive."

Etching kering, juga dikenali sebagai etsa plasma, adalah kaedah dominan dalam etsa semikonduktor. Etchers plasma secara meluas diklasifikasikan kepada dua kategori berdasarkan teknologi generasi dan kawalan plasma mereka: etching plasma (CCP) yang digabungkan secara kapasitif dan plasma ditambah secara induktif (ICP). Etchers CCP digunakan terutamanya untuk bahan -bahan dielektrik etsa, manakala etcher ICP digunakan terutamanya untuk etsa silikon dan logam, dan juga dikenali sebagai etchers konduktor. Etchers dielektrik menargetkan bahan dielektrik seperti silikon oksida, silikon nitrida, dan hafnium dioksida, manakala etchers konduktor menargetkan bahan silikon (silikon kristal tunggal, silikon polikristalin, dan silicide, dan lain -lain) dan bahan logam (aluminium, tungsten, dan lain -lain.

Dalam proses etsa, kami akan menggunakan dua jenis cincin: cincin fokus dan cincin perisai.

Fokus cincin

Dalam proses etsa, kami akan menggunakan dua jenis cincin: cincin fokus dan cincin perisai.

Cincin perisai

Biasanya terletak di luar elektrod, fungsi utamanya adalah untuk menghalang limpahan plasma. Bergantung pada struktur, ia juga boleh berfungsi sebagai sebahagian daripada elektrod. Bahan biasa termasuk silikon CVD atau silikon tunggal kristal.

Semicorex menawarkan berkualiti tinggiCvd sicdanSilikonEtching cincin berdasarkan keperluan pelanggan. Sekiranya anda mempunyai pertanyaan atau memerlukan butiran tambahan, jangan ragu untuk berhubung dengan kami.

Hubungi Telefon # +86-13567891907

E -mel: sales@semicorex.com