Salutan dalam medan haba kristal tunggal silikon semikonduktor

Bahagian bersalut dalam medan panas kristal tunggal silikon semikonduktor biasanya disalut dengan kaedah CVD, termasuk salutan karbon pirolitik,Salutan Silicon CarbidedanSalutan Tantalum Carbide, masing-masing mempunyai ciri yang berbeza.

Perkara biasa: substrat adalah grafit isostatik ketulenan tinggi, secara amnya kurang daripada 5ppm abu; salutan digunakan kaedah CVD; salutan pada dasarnya adalah 100% karbon atau Silicon Carbide; selepas lapisan permukaan agak padat, gas, terutamanya wap silikon relau atau gas silikon oksida pada dasarnya boleh disekat; pemeruapan habuknya sendiri juga sangat sedikit.

Perbezaan: ketebalan standard salutan, salutan karbon pirolitik biasanya kira-kira 40um; Salutan Silicon Carbide biasanya dilakukan kira-kira 100um, tetapi mengikut keperluan pelanggan yang berbeza, boleh dilakukan 30um ~ 150um, termasuk satu salutan dan dua salutan; salutan tantalum karbida biasanya 35±15um.

Salutan karbon pirolitik, ketumpatannya bersamaan dengan grafit tidak berliang, iaitu kira-kira 2.2. Ia mempunyai kerintangan rendah dan kekonduksian terma yang tinggi dalam arah selari permukaan, jadi ia boleh mengekalkan konsistensi suhu permukaan, dan ia juga mempunyai pekali pengembangan haba yang rendah dan modulus keanjalan yang tinggi. Dalam arah serenjang permukaan, pekali pengembangan terma lebih besar dan kekonduksian terma lebih rendah.

Untuk produk bersalut Silicon Carbide, modulus elastik salutan adalah sangat tinggi, berpuluh kali ganda lebih tinggi daripada modulus elastik substrat grafit dalaman, jadi untuk mengelakkan pecah produk, ia perlu dikendalikan dengan lembut.

Salutan karbon pirolitik dan salutan Silikon Karbida semua kandungan kekotoran adalah kurang daripada 5ppm, di mana kandungan unsur logam utama kurang daripada 0.1 atau 0.01ppm, semakin sukar untuk menangani unsur boron ialah 0.01 atau 0.15ppm.

Semicorex menawarkan produk salutan CVD berkualiti tinggi untuk semikonduktor dengan perkhidmatan tersuai. Jika anda mempunyai sebarang pertanyaan atau memerlukan butiran tambahan, sila jangan teragak-agak untuk menghubungi kami.

Hubungi # telefon +86-13567891907

E-mel: sales@semicorex.com