Betapa Pentingnya Bot Wafer Silicon Carbide?

Dalam pembuatan semikonduktor, selain peralatan proses teras seperti fotolitografi dan etsa, satu lagi jenis komponen asas memainkan peranan penting dalam kestabilan proses:bot wafer.

Terutama dalam beberapa tahun kebelakangan ini, dengan pembangunan proses suhu tinggi dan semikonduktor generasi ketiga, bot wafer silikon karbida, diperbuat daripada silikon karbida, secara senyap-senyap menjadi standard industri.

Jadi, apakah peranan yang dimainkan oleh komponen yang kelihatan tidak penting ini dalam pembuatan semikonduktor?

01 Fungsi Asas Bot Wafer

Bot wafer ialah pembawa proses yang digunakan untuk memegang wafer, terutamanya digunakan dalam peralatan pemprosesan suhu tinggi.

Dalam proses pembuatan semikonduktor, wafer menjalani pelbagai langkah pemprosesan haba, seperti resapan, pengoksidaan, penyepuhlindapan, dan pemendapan wap kimia (CVD). Semasa proses ini, wafer biasanya diproses secara kelompok menjadi peralatan tiub relau, dan bot wafer berfungsi dengan fungsi berikut:

- Menyokong berbilang wafer dan mengekalkan jarak yang stabil

- Memastikan kestabilan kedudukan wafer dalam persekitaran suhu tinggi

- Memastikan aliran gas seragam bersama dengan peralatan

Struktur dan sifat bahan bot wafer secara langsung mempengaruhi taburan medan haba dan konsistensi proses.

02 Ciri-ciri Struktur Bot Silikon Karbida

Bot silikon karbidabiasanya menggunakan reka bentuk bingkai, menawarkan kestabilan struktur yang tinggi. Ciri-ciri biasa termasuk:

- Struktur slot berbilang lapisan untuk kedudukan wafer yang tepat

- Reka bentuk terbuka untuk aliran gas mudah antara wafer

- Bingkai ketegaran tinggi untuk mengurangkan risiko ubah bentuk pada suhu tinggi

Bergantung pada jenis peralatan, bot boleh direka bentuk sebagai struktur menegak atau mendatar dan menyokong saiz wafer yang berbeza (cth., 6 inci, 8 inci, 12 inci).

03 Pemilihan Bahan: MengapaSilikon Karbida?

Apabila proses semikonduktor berkembang ke arah suhu yang lebih tinggi dan kebersihan yang lebih tinggi, bahan tradisional seperti kuarza dan alumina semakin tidak mencukupi. Sebaliknya, silikon karbida menawarkan kelebihan dalam beberapa dimensi prestasi.

1. Rintangan Suhu Tinggi: Silikon karbida mempamerkan kestabilan struktur yang baik dalam julat suhu kira-kira 1200 ℃ hingga 1400 ℃. Di bawah keadaan ketulenan tinggi atau proses khas tertentu, ia boleh digunakan dalam persekitaran suhu yang lebih tinggi. Ia tidak mempamerkan fenomena lebur atau pelembutan yang ketara serupa dengan bahan logam pada suhu tinggi.

2. Kekonduksian Terma Tinggi: Silikon karbida mempunyai kekonduksian terma yang tinggi, yang membantu mengurangkan perbezaan suhu antara wafer, dengan itu meningkatkan konsistensi proses.

3. Pekali Pengembangan Terma Rendah: Silikon karbida mempunyai pekali pengembangan haba yang rendah, yang mengurangkan kesan tegasan haba pada wafer semasa proses pemanasan dan penyejukan.

4. Kestabilan Kimia: Silikon karbida mempamerkan kestabilan kimia yang baik dalam pelbagai atmosfera, termasuk atmosfera pengoksidaan dan pengurangan. Walau bagaimanapun, ia masih akan mengalami tindak balas pengoksidaan yang perlahan dalam persekitaran oksigen suhu tinggi, membentuk lapisan pelindung silikon dioksida.

5. Ketulenan Bahan dan Kawalan Pencemaran: Silikon karbida gred semikonduktor biasanya mempunyai kandungan kekotoran yang dikawal ketat untuk mengurangkan risiko pencemaran pada permukaan wafer. Terdapat perbezaan yang ketara antara bahan yang digunakan dalam gred proses yang berbeza.

04 Kawasan Permohonan

Bot silikon karbida kini digunakan secara meluas dalam pelbagai bidang, termasuk:

- Pemprosesan terma dalam pembuatan litar bersepadu

- Pengilangan peranti semikonduktor kuasa (cth., peranti SiC)

- Pemprosesan suhu tinggi wafer silikon fotovoltaik

- Penyelidikan dan pembangunan bahan semikonduktor dan proses

Kelebihannya lebih ketara dalam senario yang memerlukan suhu tinggi, kakisan kuat atau kebersihan yang tinggi.

Tawaran semicorexBot wafer SiC, tiub relau, dayung julur, dll dalam relau suhu tinggi. Jika anda mempunyai sebarang pertanyaan atau memerlukan butiran tambahan, sila jangan teragak-agak untuk menghubungi kami.

Hubungi # telefon +86-13567891907

E-mel: sales@semicorex.com