Homoepitaxy dan heteroepitaxy memainkan peranan penting dalam sains material. Homoepitaxy melibatkan pertumbuhan lapisan kristal pada substrat bahan yang sama, memastikan kecacatan minimum disebabkan padanan kekisi yang sempurna. Sebaliknya, heteroepitaxy menumbuhkan lapisan kristal pada substrat ba......
Baca LagiUntuk mencapai keperluan kualiti tinggi proses litar cip IC dengan lebar talian lebih kecil daripada 0.13μm hingga 28nm untuk wafer penggilap silikon diameter 300mm, adalah penting untuk meminimumkan pencemaran daripada kekotoran, seperti ion logam, pada permukaan wafer.
Baca Lagi