Pemanas komposit PBN

Pemanas komposit Semicorex PBN menggabungkan kekonduksian terma yang sangat baik dari grafit pyrolytic dengan inertness kimia dan penebat elektrik pyrolytic boron nitride. Pemanas ini dibina dari grafit kesucian yang sangat tinggi dan PBN yang digunakan menggunakan proses CVD (pemendapan wap kimia) yang berkualiti tinggi di bawah keadaan pemendapan kemurnian yang tinggi. Setiap lapisan pencapaian individu telah didepositkan dengan kawalan yang sangat melampau untuk memastikan kesucian ultra tinggi dan sifat terma yang konsisten. Inti grafit, yang menyediakan pemanasan cepat dan seragam di seluruh, dilindungi dari pengoksidaan dan pencemaran oleh kapsul PBN; Ini menjadikan pemanas sesuai untuk persekitaran gas vakum dan persekitaran gas lengai. Pemanas PBN ini sengaja direka untuk digunakan dalam reaktor MBE (molekul rasuk epitaxy), reaktor CVD, dan sistem pertumbuhan kristal yang lain.

Pemanas komposit pyrolytic nitride-pyrolytic (PBN-PG) pemanas komposit adalah pemanas yang menggunakan penebalan tinggi PBN sebagai substrat dan menggunakan tekanan penguraian terma tekanan rendah PG. Komponen utama pemanas komposit ini ialah pyrolytic boron nitride (PBN) dan grafit pirolytic (PG). Oleh kerana rintangan kakisan yang sangat baik dan rintangan suhu tinggi, ia digunakan terutamanya untuk pemanasan substrat semikonduktor (digunakan dalam MBE, MOCVD, salutan sputtering, dll.); pemanasan substrat superconductor; pemanasan sampel semasa analisis sampel; pemanasan sampel mikroskop elektron; pemanasan logam; Sumber pemanasan penyejatan logam, dll.

Pemanas PBN dapat menahan suhu operasi sehingga 1600 ° C dalam vakum dan mempunyai keupayaan yang lebih baik untuk menahan kejutan terma ke atas sebarang alternatif berasaskan logam yang anda akan bergantung. Permukaan pemanas sangat lancar dan padat dan menghasilkan zarah yang jauh lebih rendah semasa operasi yang penting untuk aplikasi di mana pencemaran tidak boleh diterima seperti pemprosesan wafer semikonduktor.

Struktur komposit menyediakan keseragaman haba yang sangat baik di seluruh permukaan pemanas, dan laluan rintangannya dapat disesuaikan untuk membolehkan pengedaran haba yang disesuaikan. Reka bentuk ini membolehkan kitaran ramp-up dan cooldown yang cepat semasa pemprosesan tanpa retak dan delaminating kerana pekali pengembangan terma yang sama bahan-bahan yang digunakan. Elektrod mampu menahan operasi semasa yang tinggi dan juga serasi dengan vakum.

Semicorex menyediakan fleksibiliti reka bentuk yang tidak terhad untuk bentuk, saiz dan keperluan kuasa yang unik apabila perlu, untuk memenuhi keperluan aplikasi tertentu; Sama ada untuk saiz wafer standard, atau geometri yang lebih kompleks, kami menjamin ketepatan dimensi dan keseragaman haba dalam setiap unit yang dihasilkan.

Pemanas komposit PBN sesuai untuk aplikasi ultra-bersih, termasuk:

• Sistem MBE untuk pemprosesan semikonduktor kompaun III-V dan II-VI
• Sistem salutan vakum untuk komponen optik
• Sistem Pertumbuhan Kristal untuk Sapphire dan Sic
• Pemprosesan terma kemurungan tinggi untuk persekitaran makmal penyelidikan dan pembangunan.