Pemanas PBN

Semicorex pyrolytic boron nitride PBN Pemanas adalah komponen pemanasan berprestasi tinggi yang tinggi yang direka untuk menuntut aplikasi di mana bahan-bahan ultra-bersih, stabil, dan termal yang efisien adalah penting. Dikeluarkan melalui proses pemendapan wap kimia (CVD), PBN mempamerkan kekonduksian terma yang luar biasa, rintangan suhu tinggi, dan inertness kimia yang luar biasa, menjadikannya pilihan yang ideal untuk pemprosesan semikonduktor, pertumbuhan kristal, dan aplikasi vakum.

Pemanas PBN adalah pemanas yang menggunakan PBN yang sangat penebat sebagai substrat dan menggunakan penguraian haba tekanan rendah tekanan pemendapan wap kimia (CVD) untuk melapisi PG konduktif pada tekanan rendah (di bawah 10Torr) dan suhu tinggi. Komponen utama pemanas komposit ini ialah pyrolytic boron nitride (PBN) dan grafit pirolytic (PG). Oleh kerana rintangan kakisan yang sangat baik dan rintangan suhu tinggi, ia digunakan terutamanya untuk pemanasan substrat semikonduktor (digunakan dalam MBE, MOCVD, salutan sputtering, dll.); pemanasan substrat superconductor; pemanasan sampel semasa analisis sampel; pemanasan sampel mikroskop elektron; pemanasan logam; Sumber pemanasan penyejatan logam, dll.

PBN tidak aktif dengan gas menghakis; mempunyai kesucian yang tinggi (lebih besar daripada 99.99%); tidak basah atau bertindak balas dengan kebanyakan logam cair (ia mempunyai ciri-ciri kuali yang tidak melekat, dan logam boleh digunakan 100%); mempunyai rintangan suhu tinggi yang baik (suhu operasi maksimum ialah 2000 ℃); ketumpatan yang baik; Rintangan kejutan terma yang baik dan sifat-sifat yang sangat baik menjadikannya bahan yang ideal untuk menyediakan pemanas komposit PBN-PG. PG boleh dipanaskan dengan cepat hingga 1600 ℃ (dalam suasana lengai dan di bawah vakum) dalam pemanas PBN. Pada masa yang sama, digabungkan dengan kekonduksian terma yang baik PBN, permukaan pemanasan mempunyai keseragaman haba yang baik. Dengan perkembangan pesat industri yang berkaitan, permintaan untuk pemanas komposit PBN-PG juga meningkat dengan pesat.

Pemanas PBN boleh dibuat dalam pelbagai bentuk dan konfigurasi untuk memenuhi keperluan reka bentuk dan integrasi tertentu. Reka bentuk biasa termasuk pemanas planar, pemanas tiub, dan geometri tersuai dengan unsur pemanasan tertanam atau permukaan yang dipasang. Unsur -unsur pemanasan biasanya diperbuat daripada grafit pirolitik (PG) dan dikemas dalam PBN, menyediakan struktur yang benar -benar dimeteraikan, elektrik, dan termal yang cekap.