Tiub proses sic

Tiub proses Semicorex SIC adalah komponen struktur penting dalam pengoksidaan, penyebaran, RTA/RTP dalam proses pembuatan semikonduktor. Secara amnya adalah tiub diameter besar sebagai ruang relau reaktor, semua proses kimia akan berlaku di dalamnya. Jadi kekuatan, rintangan kejutan haba kedua -duanya adalah titik asas untuk produk.

Tiub proses SIC dibuat olehSintered Silicon Carbide, ia boleh menjadi SISIC, SSIC, atau RSIC, dan salutan CVD SIC di permukaan, yang akan membentuk lapisan kesucian ultra tinggi. Ia boleh menghalang pencemaran oleh zarah, abu, dan lain -lain dan bahannya mempunyai rintangan kejutan terma yang sangat tinggi, jadi tiub proses SIC boleh kekal stabil dalam rintangan suhu tinggi, dan menghalang kekotoran dari precipitating pada suhu tinggi dan dengan itu mencemarkan alam sekitar.

Tiub proses SIC ini direka untuk digunakan di atmosfera dengan gas reaktif (oksigen), gas perisai (nitrogen), dan jumlah gas klorida hidrogen yang minimum, dan menawarkan rintangan kimia yang luar biasa, kestabilan terma, dan kesucian bahan hingga 1250 ° C. Tiub proses Semicorex SIC menggabungkan pembuatan percetakan 3D yang terkini dengan salutan pemendapan wap kimia (CVD) untuk menyediakan prestasi dan jangka hayat yang unggul di bawah keadaan terma dan kimia yang paling melampau.

Tiub proses Semicorex SIC dihasilkan melalui proses pencetakan bersepadu cetak 3D dan bukannya akhbar konvensional yang terbentuk atau dipasang. Proses pembuatan ini membolehkan struktur seramik yang berterusan dan konsisten tanpa sendi dan kawasan yang lemah, mewujudkan tahap kerumitan dan kesetiaan dimensi yang tinggi, yang dapat mengurangkan kepekatan tekanan sambil meningkatkan kekuatan mekanikal. Selain itu, struktur monolitik menyediakan meterai gas asli, mengurangkan pencemaran dan kebocoran semasa proses suhu tinggi.

TheSicBadan adalah bahan pencemaran ultra-rendah (<300 ppm), memberikan kesucian bahan yang sangat baik dan kestabilan untuk atmosfera reaktif. Di samping itu, tiub disalut dengan lapisan karbida silikon CVD (<5 ppm) untuk meningkatkan rintangan kakisan dan perlindungan permukaan.

Semicorex menyediakan perkhidmatan yang disesuaikan, kami boleh menghasilkan mengikut lukisan pelanggan, untuk memenuhi keperluan spesifikasi yang diperlukan. Oleh itu, tiub proses Semicorex boleh menjadi sesuai bukan hanya untuk relau mendatar, tetapi juga relau menegak.