Chuck Seramik Nitrida Aluminium

Chuck Seramik Nitrida Aluminium mewakili penyelesaian canggih untuk pemprosesan wafer semikonduktor, direka khusus untuk memegang wafer dengan selamat di tempatnya semasa pelbagai peringkat pembuatan. Berfungsi sebagai chuck elektrostatik (ESC), peranti inovatif ini memanfaatkan sifat luar biasa seramik Aluminium Nitride untuk memastikan pengekalan wafer yang tepat dan boleh dipercayai.

Semicorex Aluminium Nitride Ceramic Chuck menggunakan daya elektrostatik untuk mencengkam kuat wafer pada permukaannya. Ini dicapai melalui plat kejuruteraan teliti yang menampilkan elektrod integral, yang secara strategik berat sebelah dengan voltan tinggi. Akibatnya, daya pegangan elektrostatik diwujudkan di antara platen dan wafer, dengan berkesan melumpuhkan wafer di tempatnya sepanjang peringkat pemprosesan.

Salah satu ciri menonjol Aluminium Nitride Ceramic Chuck ialah gabungan luar biasa sifat kekonduksian haba dan penebat yang tinggi. Campuran ciri unik ini menjadikannya pilihan bahan yang ideal untuk aplikasi ESC. Kekonduksian haba yang tinggi memastikan pelesapan haba yang cekap, penting untuk mengekalkan pengedaran suhu seragam merentasi wafer semasa pemprosesan. Pada masa yang sama, sifat penebatnya yang luar biasa memberikan pengasingan elektrik antara chuck dan wafer, meminimumkan risiko gangguan elektrik atau kerosakan pada komponen semikonduktor sensitif.

Chuck Seramik Nitrida Aluminium menawarkan beberapa kelebihan berbanding bahan chuck tradisional. Pembinaannya yang teguh memastikan ketahanan jangka panjang, mampu menahan permintaan ketat persekitaran pembuatan semikonduktor. Selain itu, keserasiannya dengan proses suhu tinggi dan ketahanan terhadap pengembangan haba menjadikannya alat yang sangat diperlukan untuk mencapai hasil pemprosesan wafer yang konsisten dan berkualiti tinggi.