> Produk > Bersalut Silikon Karbida > Susceptor tong > Struktur Tong untuk Reaktor Epitaxial Semikonduktor

Produk

produk baru

Struktur Tong untuk Reaktor Epitaxial Semikonduktor

Dengan kekonduksian terma yang luar biasa dan sifat pengagihan haba, Struktur Tong Semicorex untuk Reaktor Epitaxial Semikonduktor ialah pilihan yang tepat untuk digunakan dalam proses LPE dan aplikasi pembuatan semikonduktor lain. Salutan SiC ketulenan tingginya memberikan perlindungan unggul dalam persekitaran suhu tinggi dan menghakis.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Struktur Tong Semicorex untuk Reaktor Epitaxial Semikonduktor ialah pilihan utama untuk aplikasi susceptor grafit berprestasi tinggi yang memerlukan rintangan haba dan kakisan yang luar biasa. Salutan SiC ketulenan tinggi dan ketumpatan unggul serta kekonduksian terma memberikan perlindungan yang unggul dan sifat pengagihan haba, memastikan prestasi yang boleh dipercayai dan konsisten walaupun dalam persekitaran yang paling mencabar.

Struktur Barel kami untuk Reaktor Epitaxial Semikonduktor direka untuk mencapai corak aliran gas lamina terbaik, memastikan kesamaan profil terma. Ini membantu mengelakkan sebarang pencemaran atau resapan kekotoran, memastikan pertumbuhan epitaxial berkualiti tinggi pada cip wafer.

Hubungi kami hari ini untuk mengetahui lebih lanjut tentang Struktur Barel kami untuk Reaktor Epitaxial Semikonduktor.

Parameter Struktur Tong untuk Reaktor Epitaxial Semikonduktor

Spesifikasi Utama Salutan CVD-SIC
Sifat SiC-CVD
Struktur Kristal	Fasa FCC Î²
Ketumpatan	g/cm ³	3.21
Kekerasan	Kekerasan Vickers	2500
Saiz bijirin	Î¼m	2~10
Ketulenan Kimia	%	99.99995
Kapasiti Haba	J·kg-1 ·K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuatan Feleksural	MPa (RT 4 mata)	415
Modulus Muda	Gpa (4pt selekoh, 1300â)	430
Pengembangan Terma (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Kekonduksian terma	(W/mK)	300

Ciri-ciri Struktur Tong untuk Reaktor Epitaxial Semikonduktor

- Kedua-dua substrat grafit dan lapisan silikon karbida mempunyai ketumpatan yang baik dan boleh memainkan peranan perlindungan yang baik dalam suhu tinggi dan persekitaran kerja yang menghakis.

- Suseptor bersalut silikon karbida yang digunakan untuk pertumbuhan kristal tunggal mempunyai kerataan permukaan yang sangat tinggi.

- Kurangkan perbezaan dalam pekali pengembangan terma antara substrat grafit dan lapisan silikon karbida, meningkatkan kekuatan ikatan secara berkesan untuk mengelakkan keretakan dan penyimpangan.

- Kedua-dua substrat grafit dan lapisan silikon karbida mempunyai kekonduksian terma yang tinggi, dan sifat pengagihan haba yang sangat baik.

- Takat lebur tinggi, rintangan pengoksidaan suhu tinggi, rintangan kakisan.