Susceptor Barel Reaktor Bersalut Karbida

Susceptor Barrel Reaktor Bersalut Semicorex Carbide ialah produk grafit berkualiti premium yang disalut dengan SiC ketulenan tinggi, direka khusus untuk proses LPE. Dengan rintangan haba dan kakisan yang sangat baik, produk ini sesuai untuk digunakan dalam aplikasi pembuatan semikonduktor.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Jika anda sedang mencari susceptor grafit berprestasi tinggi untuk pembentukan lapisan epitaxial pada wafer semikonduktor, Susceptor Barrel Reaktor Bersalut Semicorex Carbide ialah pilihan yang sangat baik. Salutan silikon karbidanya memberikan pengagihan haba yang unggul dan kekonduksian terma, memastikan prestasi yang luar biasa walaupun dalam persekitaran suhu tinggi yang paling mencabar.

Di Semicorex, kami menumpukan pada penyediaan susceptor tong reaktor bersalut karbida berkualiti tinggi dan kos efektif, kami mengutamakan kepuasan pelanggan dan menyediakan penyelesaian yang menjimatkan kos. Kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda, menyampaikan produk berkualiti tinggi dan perkhidmatan pelanggan yang luar biasa.

Parameter Suseptor Barel Reaktor Bersalut Karbida

Spesifikasi Utama Salutan CVD-SIC
Sifat SiC-CVD
Struktur Kristal	fasa FCC β
Ketumpatan	g/cm ³	3.21
Kekerasan	Kekerasan Vickers	2500
Saiz Bijirin	μm	2~10
Ketulenan Kimia	%	99.99995
Kapasiti Haba	J kg-1 K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuatan Feleksural	MPa (RT 4 mata)	415
Modulus Muda	Gpa (4pt selekoh, 1300℃)	430
Pengembangan Terma (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Kekonduksian terma	(W/mK)	300

Ciri-ciri Susceptor Barel Reaktor Bersalut Karbida

- Kedua-dua substrat grafit dan lapisan silikon karbida mempunyai ketumpatan yang baik dan boleh memainkan peranan perlindungan yang baik dalam suhu tinggi dan persekitaran kerja yang menghakis.

- Suseptor bersalut silikon karbida yang digunakan untuk pertumbuhan kristal tunggal mempunyai kerataan permukaan yang sangat tinggi.

- Mengurangkan perbezaan dalam pekali pengembangan haba antara substrat grafit dan lapisan silikon karbida, meningkatkan kekuatan ikatan secara berkesan untuk mengelakkan keretakan dan penyimpangan.

- Kedua-dua substrat grafit dan lapisan silikon karbida mempunyai kekonduksian terma yang tinggi, dan sifat pengagihan haba yang sangat baik.

- Takat lebur tinggi, rintangan pengoksidaan suhu tinggi, rintangan kakisan.