Tangki Pembersihan

Tangki pembersih semicorex dibuat daripada kuarza berkualiti tinggi, menawarkan prestasi dan kebolehpercayaan yang tiada tandingan, memastikan wafer semikonduktor dibersihkan dengan teliti dan bebas daripada sebarang bahan cemar yang boleh menjejaskan integritinya.

Kuarza dipilih untuk pembinaan tangki pembersihan kerana rintangan kimia yang luar biasa dan kestabilan haba. Tangki pembersih kuarza menahan bahan kimia keras yang biasa digunakan dalam proses pembersihan, seperti asid hidrofluorik dan etsa kuat lain. Kestabilan termanya memastikan ia boleh menahan suhu tinggi yang sering diperlukan dalam pemprosesan semikonduktor tanpa ubah bentuk atau merendahkan, mengekalkan integriti dan prestasi strukturnya dalam tempoh yang lama.

Reka bentuk tangki pembersihan direka bentuk dengan teliti untuk mengoptimumkan proses pembersihan. Dalamannya yang licin dan lancar meminimumkan penjanaan zarah dan menghalang pengumpulan bahan cemar. Tangki pembersihan direka bentuk untuk menampung pelbagai kaedah pembersihan, termasuk mandian kimia, pembersihan ultrasonik dan pembersihan megasonik. Setiap kaedah mempunyai kelebihan khusus, dan kepelbagaian tangki pembersihan membolehkannya digunakan dalam pelbagai peringkat proses pembersihan, daripada pembersihan wafer awal hingga bilas dan pengeringan terakhir.

Dalam mandian kimia, tangki pembersih memastikan bahawa wafer terdedah secara seragam kepada penyelesaian pembersihan, menggalakkan pembersihan yang konsisten dan menyeluruh. Pendedahan seragam adalah penting dalam menyingkirkan bahan zarah, sisa organik dan bahan cemar logam daripada permukaan wafer. Dalam pembersihan ultrasonik dan megasonik, gelombang bunyi frekuensi tinggi menghasilkan buih peronggaan mikroskopik dalam larutan pembersihan. Apabila gelembung ini runtuh, ia menghasilkan gelombang kejutan yang kuat yang menyingkir dan mengeluarkan bahan cemar dari permukaan wafer. Pembinaan kuarza teguh tangki pembersih boleh menahan keadaan sengit yang dihasilkan oleh kaedah pembersihan ini, memastikan ketahanan dan keberkesanan jangka panjang.