Tangki simpanan cecair kuarza

Semicorex Quartz Tank Penyimpanan Cecair adalah bekas yang dibina khas untuk aplikasi bersih semikonduktor basah di mana pengendalian cecair memerlukan tahap kebersihan dan kestabilan bahan yang luar biasa. Terutamanya, tangki ini digunakan untuk mengumpul sisa atau cecair sisa dari aplikasi pembersihan wafer. Ia tidak ternilai untuk proses produktiviti dan kawalan pencemaran. Semasa proses bersih basah, pembilasan wafer semikonduktor melibatkan jumlah besar air ultrapure atau reagen kimia yang menjadi cecair sisa pada akhir pembilasan. Di samping itu, cecair sisa selepas pembilasan mesti dikumpulkan kerana ia mempunyai kekotoran jejak yang berpotensi, atau unsur -unsur kimia berharga yang tidak boleh turun ke longkang. Cecair sisa juga mesti dikumpulkan apabila langkah -langkah salutan dilakukan seperti aplikasi photoresist, di mana sisa tambahan atau bahan kimia sisa perlu dikumpulkan. Oleh itu, tangki penyimpanan cecair kuarza mempunyai hasil yang sempurna untuk menyediakan kesucian, keserasian kimia, dan sifat pencemar yang rendah.

Tangki ini diperbuat daripada kuarza yang berselerak tinggi yang sangat tahan terhadap asid kuat, alkali, dan pelarut yang kerap digunakan dalam pembersihan semikonduktor dan litografi. Sama ada bekas konvensional, kuarza memberikan bahan cecair kepingan peluang terbaik tanpa pendedahan pencemar sekunder, larutan, atau pendedahan ion yang tidak diingini. Salah satu aspek utama tangki penyimpanan cecair kuarza adalah keupayaan untuk menyokong aliran kerja analisis dalam fabs semikonduktor, kerana cecair sisa yang dikumpulkan dalam kapal kuarza boleh digunakan dalam proses hiliran seperti pengesanan kekotoran, analisis pencemaran dan kitar semula kimia. Yang melekat pada sifat -sifat kuarza, ia dengan selamat boleh mengandungi cecair sisa dan membolehkan penilaian visual tanpa risiko interaksi yang diberikan keabsahan dan ketelusannya, sebagai tambahan kepada kestabilan terma, yang membolehkan mana -mana cecair dalam tangki untuk dipercepat sedikit ke mana -mana suhu proses tanpa risiko merendahkan atau memberi kesan kepada cecair. Yang mengatakan, tangki penyimpanan cecair kuarza direka untuk kedua-dua kutipan sisa dan penyimpanan jangka pendek sebelum dipindahkan atau dirawat.

Setiap perincian mengenai perkara kawalan pencemaran proses, terutamanya sebagai nod pembuatan peranti lanjutan menyusut dan parameter kebersihan menjadi lebih ketat. Tangki penyimpanan cecair kuarza menjamin pengendali FAB yakin bahawa pengurusan sisa tidak menjadi sumber pencemaran sekunder. Dengan mengandungi penyelesaian pembersihan sisa atau cecair proses yang berlebihan, ia menghalang aliran kerja hulu dan hiliran daripada dilaksanakan dengan sah. Di samping itu, tangki menyokong matlamat kemampanan FAB, kerana cecair yang dikumpulkan boleh diproses untuk pemurnian dan penggunaan semula reagen, dengan itu menggunakan satu lagi proses yang kurang intensif kimia dan mengakibatkan kurang beban alam sekitar secara keseluruhan.

Dari segi praktikal, reka bentuk tangki penyimpanan cecair kuarza membolehkannya mudah dimasukkan ke dalam perkakasan pembersihan basah dan sistem pengurusan kimia. Faktor bentuk boleh disesuaikan dengan konfigurasi alat yang sedia ada. Kaedah fabrikasi ketepatan memastikan dimensi bulat, dan permukaan dalaman yang lancar dengan mudah akan mengangkut & menyimpan semua cecair dalam persekitaran fab semikonduktor anda. Struktur kuarza yang tidak berliang akan menghalang penyerapan bahan cemar, dan membolehkan pembersihan tangki, menjadikannya mampu digunakan semula, tidak seperti bekas plastik konvensional yang beroperasi dalam persekitaran terkawal kimia pada operasi jumlah yang signifikan.

Intinya, tangki penyimpanan cecair kuarza direka khas untuk kepentingan dalam semua aplikasi pembersihan basah dan salutan semikonduktor. Dengan mewujudkan kesucian bahan yang terbaik, rintangan kimia dan pencemaran penyimpanan cecair bebas dalam kemudahan operasi semikonduktor, FAB dapat mengawal proses mereka dengan sedikit tanpa sebarang pencemaran. Sama ada FAB menggunakan tangki untuk menerima pengumpulan sisa langsung, untuk pemulihan reagen, dan lain -lain, atau untuk analisis kekotoran, sejarah langkah -langkah kritikal dalam proses kekal dalam keadaan asal tanpa mengorbankan operasi. Apabila anda ingin memaksimumkan hasil, meminimumkan risiko kepada proses kerja anda untuk kehilangan kestabilan, dan memaksimumkan kecekapan pengurusan kimia hasil sampingan, pencemaran kuarza bebas adalah satu -satunya pilihan yang menawarkan prestasi yang boleh dipercayai dengan semua pembersihan basah anda.