Reseptor Epi-SiC

Semicorex Epi-SiC Susceptor gabungan daya tahan suhu tinggi, lengai kimia dan resapan terma yang unggul, ia berdiri sebagai teladan daya tahan dan kecekapan dalam menghadapi keadaan intensif yang sinonim dengan usaha pertumbuhan epitaxial. Penggunaan salutan SiC dengan ketara menambah sifat terma Susceptor Epi-SiC. Penambahbaikan ini memudahkan pengagihan terma seragam yang penting untuk pemanasan wafer, penting untuk pemendapan lapisan epitaxial yang konsisten dan berkualiti tinggi merentas wafer semikonduktor.

Dibuat khusus untuk memenuhi permintaan proses epitaxial wafer, Susceptor Epi-SiC menyokong pengangkutan wafer yang lancar dalam persekitaran relau. Reka bentuknya yang teguh adalah benteng terhadap anjakan atau kompromi wafer, dengan itu mengurangkan kejadian kerosakan sepanjang peringkat kritikal pembangunan lapisan epitaxial. Selain itu, Susceptor Epi-SiC bertindak sebagai penghalang pelindung untuk substrat grafit di bawah, melindunginya daripada interaksi kimia dan lelasan yang mungkin disebabkan oleh proses epitaxial.

Gabungan teras grafit berdaya tahan dengan salutan SiC pelindung bukan sahaja meningkatkan metrik prestasi Susceptor Epi-SiC tetapi juga memanjangkan hayat perkhidmatannya dengan ketara. Hasilnya ialah pelaburan yang menghasilkan dividen dalam bentuk penjimatan operasi yang berterusan untuk perusahaan pengeluaran semikonduktor, meletakkan Susceptor Epi-SiC sebagai pilihan yang bijak bagi mereka yang ingin mengoptimumkan operasi pembuatan mereka.