Jika anda sedang mencari suseptor grafit berkualiti tinggi yang disalut dengan SiC ketulenan tinggi, Semicorex LPE Barrel Susceptor dengan Salutan SiC ialah pilihan yang tepat. Kekonduksian haba yang luar biasa dan sifat pengagihan haba menjadikannya ideal untuk digunakan dalam aplikasi pembuatan semikonduktor.
Susceptor Tong LPE Semicorex dengan Salutan SiC ialah produk grafit berkualiti premium yang disalut dengan SiC ketulenan tinggi, menjadikannya pilihan ideal untuk digunakan dalam persekitaran bersuhu tinggi dan menghakis. Ketumpatan dan kekonduksian haba yang sangat baik memberikan pengagihan haba yang luar biasa dan perlindungan dalam aplikasi pembuatan semikonduktor.
Di Semicorex, kami memberi tumpuan kepada menyediakan produk berkualiti tinggi dan kos efektif kepada pelanggan kami. Susceptor Tong LPE kami dengan Salutan SiC mempunyai kelebihan harga dan dieksport ke banyak pasaran Eropah dan Amerika. Kami menyasarkan untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda, menyampaikan produk berkualiti yang konsisten dan perkhidmatan pelanggan yang luar biasa.
Parameter Susceptor Tong LPE dengan Salutan SiC
Spesifikasi Utama Salutan CVD-SIC |
||
Sifat SiC-CVD |
||
Struktur Kristal |
Fasa FCC β |
|
Ketumpatan |
g/cm ³ |
3.21 |
Kekerasan |
Kekerasan Vickers |
2500 |
Saiz bijirin |
μm |
2~10 |
Ketulenan Kimia |
% |
99.99995 |
Kapasiti Haba |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
Kekuatan Feleksural |
MPa (RT 4 mata) |
415 |
Modulus Muda |
Gpa (4pt selekoh, 1300â) |
430 |
Pengembangan Terma (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Kekonduksian terma |
(W/mK) |
300 |
Ciri-ciri Susceptor Tong LPE dengan Salutan SiC
- Kedua-dua substrat grafit dan lapisan silikon karbida mempunyai ketumpatan yang baik dan boleh memainkan peranan perlindungan yang baik dalam suhu tinggi dan persekitaran kerja yang menghakis.
- Suseptor bersalut silikon karbida yang digunakan untuk pertumbuhan kristal tunggal mempunyai kerataan permukaan yang sangat tinggi.
- Kurangkan perbezaan dalam pekali pengembangan terma antara substrat grafit dan lapisan silikon karbida, meningkatkan kekuatan ikatan secara berkesan untuk mengelakkan keretakan dan penyimpangan.
- Kedua-dua substrat grafit dan lapisan silikon karbida mempunyai kekonduksian terma yang tinggi, dan sifat pengagihan haba yang sangat baik.
- Takat lebur tinggi, rintangan pengoksidaan suhu tinggi, rintangan kakisan.