Cincin fokus tahan lama semicorex untuk pemprosesan semikonduktor direka bentuk untuk menahan persekitaran melampau ruang goresan plasma yang digunakan dalam pemprosesan semikonduktor. Cincin fokus kami diperbuat daripada grafit ketulenan tinggi yang disalut dengan salutan silikon karbida (SiC) yang padat dan tahan haus. Salutan SiC mempunyai sifat rintangan kakisan dan haba yang tinggi, serta kekonduksian terma yang sangat baik. Kami menggunakan SiC dalam lapisan nipis pada grafit menggunakan proses pemendapan wap kimia (CVD) untuk meningkatkan hayat perkhidmatan cincin fokus kami.
Baca LagiHantar Pertanyaan