Dulang Pembawa Wafer

Semicorex menyediakan seramik gred semikonduktor untuk alat separa fabrikasi OEM anda dan komponen pengendalian wafer yang memfokuskan pada lapisan silikon karbida dalam industri semikonduktor. Kami telah menjadi pengilang dan pembekal Dulang Pembawa Wafer selama bertahun-tahun. Dulang Pembawa Wafer kami mempunyai kelebihan harga yang baik dan meliputi kebanyakan pasaran Eropah dan Amerika. Kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Bukan sahaja untuk fasa pemendapan filem nipis seperti epitaksi atau MOCVD, atau pemprosesan pengendalian wafer, Semicorex membekalkan pembawa seramik ultra tulen yang digunakan untuk menyokong wafer. Pada teras proses, Dulang Pembawa Wafer untuk MOCVD, mula-mula tertakluk kepada persekitaran pemendapan, jadi ia mempunyai rintangan haba dan kakisan yang tinggi. Pembawa bersalut SiC juga mempunyai kekonduksian haba yang tinggi, dan sifat pengedaran haba yang sangat baik.
Hubungi kami hari ini untuk mengetahui lebih lanjut tentang Dulang Pembawa Wafer kami.

Parameter Dulang Pembawa Wafer

Sifat Teknikal
Indeks	Unit	Nilai
Nama Bahan		Tindak balas Sintered Silicon Carbide	Silikon Karbida Tersinter Tanpa Tekanan	Karbida Silikon Terhablur Semula
Komposisi		RBSiC	SSiC	R-SiC
Ketumpatan Pukal	g/cm3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
Kekuatan lentur	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Kekuatan Mampatan	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Kekerasan	Butang	2700	2800	/
Memecah Ketabahan	MPa m1/2	4.5	4	/
Kekonduksian Terma	W/m.k	95	120	23
Pekali Pengembangan Terma	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Haba Tertentu	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Suhu maksimum dalam udara	℃	1200	1500	1600
Modulus Elastik	Gpa	360	410	240

Perbezaan antara SSiC dan RBSiC:

1. Proses pensinteran adalah berbeza. RBSiC adalah untuk menyusup Si bebas ke dalam silikon karbida pada suhu rendah, SSiC dibentuk oleh pengecutan semula jadi pada 2100 darjah.

2. SSiC mempunyai permukaan yang lebih licin, ketumpatan yang lebih tinggi dan kekuatan yang lebih tinggi, untuk beberapa pengedap dengan keperluan permukaan yang lebih ketat, SSiC akan menjadi lebih baik.

3. Masa penggunaan yang berbeza di bawah PH dan suhu yang berbeza, SSiC lebih panjang daripada RBSiC

Ciri-ciri Dulang Pembawa Wafer

- Salutan Silicon Carbide CVD untuk meningkatkan hayat perkhidmatan.
- Penebat haba diperbuat daripada karbon tegar tulen berprestasi tinggi.
- Kedua-dua substrat grafit dan lapisan silikon karbida mempunyai kekonduksian terma yang tinggi, dan sifat pengagihan haba yang sangat baik.
- Grafit ketulenan tinggi dan salutan SiC untuk rintangan lubang jarum dan jangka hayat yang lebih tinggi

Bentuk seramik silikon karbida yang tersedia:

● Batang seramik / pin seramik / pelocok seramik

● Tiub seramik / sesendal seramik / lengan seramik

● Cincin seramik / mesin basuh seramik / pengatur jarak seramik

● Cakera seramik

● Pinggan seramik / blok seramik

● Bola seramik

● Omboh seramik

● Muncung seramik

● Pisau seramik

● Bahagian seramik tersuai lain