- English
- Español
- Português
- русский
- Français
- 日本語
- Deutsch
- tiếng Việt
- Italiano
- Nederlands
- ภาษาไทย
- Polski
- 한국어
- Svenska
- magyar
- Malay
- বাংলা ভাষার
- Dansk
- Suomi
- हिन्दी
- Pilipino
- Türkçe
- Gaeilge
- العربية
- Indonesia
- Norsk
- تمل
- český
- ελληνικά
- український
- Javanese
- فارسی
- தமிழ்
- తెలుగు
- नेपाली
- Burmese
- български
- ລາວ
- Latine
- Қазақша
- Euskal
- Azərbaycan
- Slovenský jazyk
- Македонски
- Lietuvos
- Eesti Keel
- Română
- Slovenski
- मराठी
- Srpski језик
Rumah
>
Produk > Komponen Semikonduktor > Cincin Fokus > Cincin Fokus Tahan Lama untuk Pemprosesan Semikonduktor
Cincin Fokus Tahan Lama untuk Pemprosesan Semikonduktor
Cincin fokus tahan lama semicorex untuk pemprosesan semikonduktor direka bentuk untuk menahan persekitaran melampau ruang goresan plasma yang digunakan dalam pemprosesan semikonduktor. Cincin fokus kami diperbuat daripada grafit ketulenan tinggi yang disalut dengan salutan silikon karbida (SiC) yang padat dan tahan haus. Salutan SiC mempunyai sifat rintangan kakisan dan haba yang tinggi, serta kekonduksian terma yang sangat baik. Kami menggunakan SiC dalam lapisan nipis pada grafit menggunakan proses pemendapan wap kimia (CVD) untuk meningkatkan hayat perkhidmatan cincin fokus kami.
Hantar Pertanyaan
Penerangan Produk
Cincin fokus tahan lama kami untuk pemprosesan semikonduktor direka untuk meningkatkan keseragaman goresan di sekeliling tepi wafer atau perimeter, meminimumkan pencemaran dan penyelenggaraan tidak berjadual. Ia sangat stabil untuk penyepuhlindapan terma pantas (RTA), pemprosesan terma pesat (RTP) dan pembersihan kimia yang keras.
Di Semicorex, kami menumpukan pada penyediaan cincin fokus tahan lama berkualiti tinggi, kos efektif untuk pemprosesan semikonduktor, kami mengutamakan kepuasan pelanggan dan menyediakan penyelesaian yang menjimatkan kos. Kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda, menyampaikan produk berkualiti tinggi dan perkhidmatan pelanggan yang luar biasa.
Hubungi kami hari ini untuk mengetahui lebih lanjut tentang cincin fokus tahan lama kami untuk pemprosesan semikonduktor.
Parameter Cincin fokus tahan lama untuk pemprosesan semikonduktor
|
Spesifikasi Utama Salutan CVD-SIC |
||
|
Sifat SiC-CVD |
||
|
Struktur Kristal |
Fasa FCC β |
|
|
Ketumpatan |
g/cm ³ |
3.21 |
|
Kekerasan |
Kekerasan Vickers |
2500 |
|
Saiz bijirin |
μm |
2~10 |
|
Ketulenan Kimia |
% |
99.99995 |
|
Kapasiti Haba |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
|
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
|
Kekuatan Feleksural |
MPa (RT 4 mata) |
415 |
|
Modulus Muda |
Gpa (4pt selekoh, 1300â) |
430 |
|
Pengembangan Terma (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
|
Kekonduksian terma |
(W/mK) |
300 |
Ciri-ciri cincin fokus tahan lasak untuk pemprosesan semikonduktor
â Grafit ketulenan tinggi dan salutan SiC untuk rintangan lubang jarum dan jangka hayat yang lebih tinggi.
â Kedua-dua substrat grafit dan lapisan SiC mempunyai kekonduksian terma yang tinggi dan sifat pengagihan haba yang sangat baik.
â Salutan SiC digunakan dalam lapisan nipis untuk meningkatkan hayat perkhidmatan.
Teg Panas: Cincin Fokus Tahan Lama untuk Pemprosesan Semikonduktor, China, Pengilang, Pembekal, Kilang, Disesuaikan, Pukal, Lanjutan, Tahan Lama
Tag Produk
Kategori Berkaitan
Tudung Bilik
Pengesan Akhir
Gelang Masuk
Cincin Fokus
Wafer Chuck
Kayuh julur
Kepala pancuran
Tiub Proses
Separuh Bahagian
Cakera Pengisar Wafer
Hantar Pertanyaan
Sila berasa bebas untuk memberikan pertanyaan anda dalam borang di bawah. Kami akan membalas anda dalam masa 24 jam.
